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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Influence of masking layer stress on anisotropic silicon etching in TMAH solutions 1-gen-2003 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Ramjay, Pal; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Influence of Ultrasonic Bath on Mold-Assisted Electrodeposition of Gold Microelectrode Arrays 1-gen-2024 Yadav, Neeraj; Giacomozzi, Flavio; Cian, Alessandro; Giubertoni, Damiano; Lorenzelli, Leandro
Innovativo SPDT Rf-MEMS Switch Su Silicio Per Applicazioni Spaziali 1-gen-2004 Farinelli, P.; Giacomozzi, Flavio; Mannocchi, G.; Marcelli, R.; Margesin, Benno; Mezzanotte, P.; Di Nardo, S.; Russer, P.; Sorrentino, R.; Vitulli, F.; Vietzorreck, L.
Integration and Reliability Issues on MEMS-based Switch Matrices 1-gen-2008 G., Mannocchi; M., Carbone; W., Chiesa; C., Cianci; S., Di Nardo; E., Di Paola; M., Feudale; O., Vendier; A., Muller; L., Vietzorreck; F., Casini; P., Farinelli; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; R., Marcelli
Interdigitated Low-Loss Ohmic RF-MEMS Switches 1-gen-2004 R., Gaddi; M., Bellei; A., Gnudi; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio
Investigation of charging processes in dielectrics for RF mems capacitive switches 1-gen-2008 E., Papandreou; G., Papaioannou; Giacomozzi, Flavio; M., Koutsoureli; Margesin, Benno; Colpo, Sabrina
Ion beam enhanced deposition and dynamic ion mixing for surface modification 1-gen-1986 Calliari, Lucia; Giacomozzi, Flavio; L., Guzman; Margesin, Benno; P. M., Ossi
Long-term reliability of RF-MEMS dielectric-less capacitive switches 1-gen-2013 Mulloni, Viviana; Giacomozzi, Flavio; Resta, Giuseppe; Margesin, Benno
Low power Silicon microheaters on a thin dielectric membrane with Thick Film Sensing Layer for gas sensor applications 1-gen-2000 Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Alexey, Vasiliev; Alexandr Viktorovich, Pisliakov; Soncini, Giovanni; Giorgio Umberto, Pignatel; D., Vincenzi; G., Martinelli; M. C., Carotta; M. A., Butturi
LOW-LOSS Ohmic RF-MEMS Switches with Interdigitated Electrode Topology 1-gen-2004 R., Gaddi; M., Bellei; A., Gnudi; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio
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Tipologia
  • 4 Contributo in Atti di Convegno ... 157
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Autore
  • Margesin, Benno 115
  • Colpo, Sabrina 30
  • Zen, Mario 29
  • Guarnieri, Vittorio 25
  • Mulloni, Viviana 19
  • Lorenzelli, Leandro 17
  • Iannacci, Jacopo 16
  • Faes, Alessandro 15
  • Soncini, Giovanni 15
  • Vasilache, Dan Adrian 9
Data di pubblicazione
  • 2020 - 2024 5
  • 2010 - 2019 43
  • 2000 - 2009 91
  • 1990 - 1999 17
  • 1986 - 1989 1
Editore
  • IEEE 6
  • ieeexplore.ieee.org 5
  • EuMA 3
  • World Scientific 3
  • EDA Publishing Association 2
  • National Institute for Research a... 2
  • World Scientific Publishing 2
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  • FBK - Publishing Services 1
  • FBK- Publishing services 1
Serie
  • LECTURE NOTES IN ELECTRICAL ENGIN... 1
Keyword
  • RF MEMS 12
  • MEMS 8
  • RF-MEMS 6
  • RF-MEMS switch 5
  • DRIE 4
  • variable isotropy process 3
  • electromagnetic simulation 2
  • MEMS reliability 2
  • micromachining 2
  • multimodal circuit 2
Lingua
  • eng 134
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Accesso al fulltext
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