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Anisotropic etching rates in TMAH solutions of different Si crystallographic orientation as a function of film stress
2002-01-01 Guarnieri, Vittorio; Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Decarli, Massimiliano; Ramjay, Pal; Soncini, Giovanni
Cr/Ni/Au multilayer films for high temperature MEMS applications
2002-01-01 Guarnieri, Vittorio; Ramjay, Pal; Bagolini, Alvise; Micheli, Victor; Filippi, Massimiliano; Decarli, Massimiliano; Moscon, Franco; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Soncini, Giovanni; Zen, Mario
MOS Junction based Nanostructures by Thermal Oxidation of Silicon Wires for Hydrogen Detection
2003-01-01 Tibuzzi, Arianna; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; C., Di Natale; A., D'Amico; Margesin, Benno; Zen, Mario
Micromachined flow sensor on silicon membrane
2003-01-01 Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Bagolini, Alvise; Alexey, Vasiliev; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics
2003-01-01 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
Stress characterization of electroplated gold layers for low temperature surface micromachining
2003-01-01 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; Ramjay, Pal; Decarli, Massimiliano
Anemometric air flow sensor on Silicon membrane
2003-01-01 Guarnieri, Vittorio; Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev
Influence of masking layer stress on anisotropic silicon etching in TMAH solutions
2003-01-01 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Ramjay, Pal; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
MOS Junction based Nanostructures by Thermal Oxidation of Silicon Wires for Hydrogen Detection
2003-01-01 Tibuzzi, Arianna; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; C., Di Natale; A., D'Amico; Margesin, Benno; Zen, Mario
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics
2004-01-01 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
MOS-Junction-Based Nanostructures by Thermal Oxidation of Silicon Wires for Hydrogen Detection
2004-01-01 Tibuzzi, Arianna; Margesin, Benno; Decarli, Massimiliano; C., Di Natale; Zen, Mario; A., D'Amico; Soncini, Giovanni
An innovative microalcoholometer based on AI2O4 microhotplates
2004-01-01 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; A., Vasiliev; Soncini, Giovanni; Zen, Mario
A Silicon micromachined alcoholometer
2004-01-01 Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; Zen, Mario
Design and fabrication of a Silicon microalcoholometer
2005-01-01 Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
Microcantilever-based sensor array for amine detection in agroo-food applications
2005-01-01 Adami, Andrea; Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Lorenzelli, Leandro; Zen, Mario
A MEMS-based liquid flow sensor for medical diagnostics
2005-01-01 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Faes, Alessandro; Margesin, Benno; M., Paranjape; Lorenzelli, Leandro; Zen, Mario
A micromachined flow sensor for monitoring and evaluation of urinary disfunction
2005-01-01 Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Faes, Alessandro; Margesin, Benno; N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; M., Paranjape; Zen, Mario
CO2 sensor system including a microheater and a thermopile
2005-01-01 A., Catini; A., Pasquini; F., Lo Castro; A., D'Amico; C., Di Natale; C., Corsi; Soncini, Giovanni; Decarli, Massimiliano; Tibuzzi, Arianna; Guarnieri, Vittorio
MEMS-based approach to liquid chromatographic sepaeation.
2006-01-01 A., Benvenuto; Guarnieri, Vittorio; Lorenzelli, Leandro; Collini, Cristian; Decarli, Massimiliano; Adami, Andrea; Potrich, Cristina; Pederzolli, Cecilia; Zen, Mario
A Low Cost Micro-System for Non-Invasive Uroflowmetry
2006-01-01 N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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Anisotropic etching rates in TMAH solutions of different Si crystallographic orientation as a function of film stress | 1-gen-2002 | Guarnieri, Vittorio; Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Decarli, Massimiliano; Ramjay, Pal; Soncini, Giovanni | |
Cr/Ni/Au multilayer films for high temperature MEMS applications | 1-gen-2002 | Guarnieri, Vittorio; Ramjay, Pal; Bagolini, Alvise; Micheli, Victor; Filippi, Massimiliano; Decarli, Massimiliano; Moscon, Franco; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Soncini, Giovanni; Zen, Mario | |
MOS Junction based Nanostructures by Thermal Oxidation of Silicon Wires for Hydrogen Detection | 1-gen-2003 | Tibuzzi, Arianna; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; C., Di Natale; A., D'Amico; Margesin, Benno; Zen, Mario | |
Micromachined flow sensor on silicon membrane | 1-gen-2003 | Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Bagolini, Alvise; Alexey, Vasiliev; Zen, Mario; Soncini, Giovanni | |
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics | 1-gen-2003 | Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano | |
Stress characterization of electroplated gold layers for low temperature surface micromachining | 1-gen-2003 | Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; Ramjay, Pal; Decarli, Massimiliano | |
Anemometric air flow sensor on Silicon membrane | 1-gen-2003 | Guarnieri, Vittorio; Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev | |
Influence of masking layer stress on anisotropic silicon etching in TMAH solutions | 1-gen-2003 | Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Ramjay, Pal; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario | |
MOS Junction based Nanostructures by Thermal Oxidation of Silicon Wires for Hydrogen Detection | 1-gen-2003 | Tibuzzi, Arianna; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; C., Di Natale; A., D'Amico; Margesin, Benno; Zen, Mario | |
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics | 1-gen-2004 | Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano | |
MOS-Junction-Based Nanostructures by Thermal Oxidation of Silicon Wires for Hydrogen Detection | 1-gen-2004 | Tibuzzi, Arianna; Margesin, Benno; Decarli, Massimiliano; C., Di Natale; Zen, Mario; A., D'Amico; Soncini, Giovanni | |
An innovative microalcoholometer based on AI2O4 microhotplates | 1-gen-2004 | Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; A., Vasiliev; Soncini, Giovanni; Zen, Mario | |
A Silicon micromachined alcoholometer | 1-gen-2004 | Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Soncini, Giovanni; Zen, Mario | |
Design and fabrication of a Silicon microalcoholometer | 1-gen-2005 | Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Zen, Mario; Soncini, Giovanni | |
Microcantilever-based sensor array for amine detection in agroo-food applications | 1-gen-2005 | Adami, Andrea; Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Lorenzelli, Leandro; Zen, Mario | |
A MEMS-based liquid flow sensor for medical diagnostics | 1-gen-2005 | Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Faes, Alessandro; Margesin, Benno; M., Paranjape; Lorenzelli, Leandro; Zen, Mario | |
A micromachined flow sensor for monitoring and evaluation of urinary disfunction | 1-gen-2005 | Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio; Faes, Alessandro; Margesin, Benno; N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; M., Paranjape; Zen, Mario | |
CO2 sensor system including a microheater and a thermopile | 1-gen-2005 | A., Catini; A., Pasquini; F., Lo Castro; A., D'Amico; C., Di Natale; C., Corsi; Soncini, Giovanni; Decarli, Massimiliano; Tibuzzi, Arianna; Guarnieri, Vittorio | |
MEMS-based approach to liquid chromatographic sepaeation. | 1-gen-2006 | A., Benvenuto; Guarnieri, Vittorio; Lorenzelli, Leandro; Collini, Cristian; Decarli, Massimiliano; Adami, Andrea; Potrich, Cristina; Pederzolli, Cecilia; Zen, Mario | |
A Low Cost Micro-System for Non-Invasive Uroflowmetry | 1-gen-2006 | N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio |
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