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EnglishStress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics / A. Bagolini; B. Margesin; V. Guarnieri; F. Giacomozzi; A.Faes; R. Pal; M. Decarli. - (2003), pp. 449-454. ((Intervento presentato al convegno AISEM 2003 tenutosi a Trento, Italy nel da 02/12/2003 a 02/14/2003.
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| Titolo: | Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2003 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11582/8752 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/11582/8752
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