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Anisotropic etching rates in TMAH solutions of different Si crystallographic orientation as a function of film stress 1-gen-2002 Vittorio Guarnieri; Alvise Bagolini; Flavio Giacomozzi; Benno Margesin; Mario Zen; Massimiliano Decarli; Ramjay Pal; Giovanni Soncini
Cr/Ni/Au multilayer films for high temperature MEMS applications 1-gen-2002 Guarnieri, Vittorio; Ramjay, Pal; Bagolini, Alvise; Micheli, Victor; Filippi, Massimiliano; Decarli, Massimiliano; Moscon, Franco; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Soncini, Giovanni; Zen, Mario
Anemometric air flow sensor on Silicon membrane 1-gen-2003 Vittorio Guarnieri; Alvise Bagolini; Flavio Giacomozzi; Benno Margesin; Mario Zen; Massimiliano Decarli; Giovanni Soncini; Alexey Vasiliev
Progettazione, disegno, fabbricazione e caratterizzazione di un microfono capacitivo in silicio con tecnologie MEMS 1-gen-2003 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio
Micromachined flow sensor on silicon membrane 1-gen-2003 Guarnieri, Vittorio; Decarli, Massimiliano; Bagolini, Alvise; Alexey, Vasiliev; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
Fabrication of a piston-type condenser microphone with structured polysilicon diaphragm 1-gen-2003 Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Bagolini, Alvise; Zen, Mario
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2003 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
Stress characterization of electroplated gold layers for low temperature surface micromachining 1-gen-2003 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; Ramjay, Pal; Decarli, Massimiliano
Novel stress test structures for surface micromachining applications 1-gen-2003 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; G., Turco
In situ measurement of wood stress during drying process 1-gen-2003 O., Allegretti; R., Scanzoni; Bagolini, Alvise; Margesin, Benno
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2004 A. Bagolini; B. Margesin; V. Guarnieri; F. Giacomozzi; A. Faes; R. Pal; M. Decarli
In situ measurement of wood stress during drying process 1-gen-2004 O. Allegretti; R. Scanzoni; A. Bagolini; B. Margesin
Novel Test structures for stress diagnosis in micromechanics 1-gen-2004 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; G., Turco; Giacomozzi, Flavio
STRESS-STRAIN BEHAVIOUR OF ELECTROPLATED GOLD THIN FILMS 1-gen-2004 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio
Development of a MEMS accellerometer for automobile pollution control: an approach. 1-gen-2005 R., Mukhiya; Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; S., Das; S. K., Lahiri; Zen, Mario; S., Kal
Analytical model for magnified displacement stress test structures. 1-gen-2005 Bagolini, Alvise; Faes, Alessandro; Margesin, Benno
A micromachined inertial accelerometer for avionics 1-gen-2005 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; S., Das
Stress and resistivity analysis of electrodeposited gold films for MEMS application 1-gen-2006 S., Kal; Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Zen, Mario
FEM based design and simulation of bulk-micromachined MEMS accelerometers with low cross axis sensitivity 1-gen-2006 R., Mukhiya; Adami, Andrea; Bagolini, Alvise; Zen, Mario; S., Kal
<110> square corner compensation and etch flow mechanism for anisotropic TMAH etching 1-gen-2006 R., Mukhiya; Bagolini, Alvise; Zen, Mario; S., Kal
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