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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Quality management system and accreditation of measurements on scientific high-level technological laboratory. The case study of MiNALab 1-gen-2012 Iacob, Erica; Gennaro, S.; Pecoraro, F.; Bersani, Massimo
Rotating stage and shallow depth profiling on Cameca SC-Ultra apparatus 1-gen-2004 S., Pederzoli; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo
Sample topography developed by sputtering in a Cameca instruments: an AFM and SEM study 1-gen-2002 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Lui, Alberto; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
Secondary ion mass spectrometry characterization of deuterated GaAsN films on GaAs 1-gen-2009 Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; R., Trotta; A., Polimeni; M., Capizzi; F., Martelli; S., Rubini
SIMS RSFs in silicon for positive secondary ions with O2+ 1keV at 63° incidence sputtering beam and Zalar rotation. 1-gen-2013 Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Bersani, Massimo
Structural Analysis and Depth Profiling of Nanometric SiO2/SRO Multilayers 1-gen-2011 Barozzi, Mario; Gennaro, Salvatore; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Jestin, Yoann; Pucker, Georg; S., Milita; R., Balboni
Study of nanoscale structures induced by low energy ion beam 1-gen-2004 Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Bersani, Massimo
TiN/STO/TiN MIMcaps nanolayers on silicon characterized by SIMS and AFM 1-gen-2011 Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Jaap Van Den, Berg; Mike, Reading; Christoph, Adelmann; Hilde, Tielens; Bersani, Massimo; Mihaela, Popovici
TiN/STO/TiN MIMcaps nanolayers on silicon characterized by SIMS and AFM 1-gen-2011 Barozzi, Mario; Iacob, Erica; J. A., van den Berg; M. A., Reading; C., Adelmann; M., Popovici; H., Tielens; Bersani, Massimo
ToF-SIMS and AFM studies of low-k dielectric etching in fluorocarbon plasmas 1-gen-2005 Lazzeri, Paolo; X., Hua; G., Oehrlein; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
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Tipologia
  • 4 Contributo in Atti di Convegno ... 39
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Autore
  • Iacob, Erica 25
  • Giubertoni, Damiano 23
  • Barozzi, Mario 20
  • Vanzetti, Lia Emanuela 12
  • Anderle, Mariano 11
  • Pepponi, Giancarlo 10
  • Gennaro, Salvatore 9
  • Meirer, Florian 6
  • Demenev, Evgeny 5
  • Canteri, Roberto 4
Data di pubblicazione
  • 2010 - 2014 18
  • 2001 - 2009 21
Editore
  • A. Rossi, B. Elsener grafiche Gh... 1
Keyword
  • SIMS 10
  • GIXRF 3
  • ultra shallow junctions 3
  • accreditation 2
  • AFM 2
  • arsenic 2
  • asbestos 2
  • ISO/IEC 17025 2
  • SEM 2
  • silicon 2
Lingua
  • eng 36
Accesso al fulltext
  • no fulltext 39