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Grazing Incidence x-ray fluorescence and secondary ion mass spectrometry combined approach for characterization of ultra shallow arsenic distribution in silicon
2009-01-01 Pepponi, Giancarlo; Meirer, Florian; Giubertoni, Damiano; D., Ingerle; G., Steinhauser; C., Streli; P., Hoenicke; B., Beckhoff; Bersani, Massimo
Grazing Incidence x-ray fluorescence and secondary ion mass spectrometry combined approach for characterization of ultra shallow arsenic distribution in silicon.
2009-01-01 Pepponi, Giancarlo; Meirer, Florian; Giubertoni, Damiano; D., Ingerle; G., Steinhauser; C., Streli; P., Hoenicke; B., Beckhoff; Bersani, Massimo
In situ sputtering rate measurement by laser interferometer applied to SIMS analyses
2003-01-01 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; E., Boscolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
MCs+ and MCs2+ Molecular Ions Emission from Transition Metal Silicides
2001-01-01 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
Multi-technique characterization of arsenic ultra shallow junctions in silicon within the ANNA consortium.
2009-01-01 Giubertoni, Damiano; Pepponi, Giancarlo; B., Beckhoff; P., Hoenicke; Gennaro, Salvatore; Meirer, Florian; D., Ingerle; G., Steinhauser; M., Fried; P., Petrik; A., Parisini; M. A., Reading; C., Streli; J. A., van den Berg; Bersani, Massimo
Multi-variate analysis of ToF-SIMS images of ancient ceramics
2012-01-01 Brigidi, Fabio; Gennaro, Salvatore; Meirer, Florian; Dell'Anna, Rossana; Pepponi, Giancarlo; Bersani, Massimo; P., sciau
Multilayer silicon rich oxy-nitride films characterization by SIMS, VASE and AFM
2007-01-01 Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; Pucker, Georg; C., Kompocholis; Ghulinyan, Mher; Bellutti, Pierluigi
Nanotensile tests, microscopy characterization and atomistic simulations of carbon nanotubes fibers
2013-01-01 Maria F., Pantano; Vesselin, Shanov; Mark J., Schulz; Fedrizzi, Michele; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Taioli, Simone; Silvio A., Beccara; Pugno, Nicola
Nitride Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical and Phisico-Chemical Characterization by Complementary Surface Techniques
2002-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Quality management system and accreditation of measurements in a surface science laboratory. The case study of MiNALab.
2013-01-01 Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Gennaro, Salvatore; Pecoraro, F.; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Bortolotti, Mauro; Pepponi, Giancarlo; Fedrizzi, Michele; Bersani, Massimo
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
---|---|---|---|
Grazing Incidence x-ray fluorescence and secondary ion mass spectrometry combined approach for characterization of ultra shallow arsenic distribution in silicon | 1-gen-2009 | Pepponi, Giancarlo; Meirer, Florian; Giubertoni, Damiano; D., Ingerle; G., Steinhauser; C., Streli; P., Hoenicke; B., Beckhoff; Bersani, Massimo | |
Grazing Incidence x-ray fluorescence and secondary ion mass spectrometry combined approach for characterization of ultra shallow arsenic distribution in silicon. | 1-gen-2009 | Pepponi, Giancarlo; Meirer, Florian; Giubertoni, Damiano; D., Ingerle; G., Steinhauser; C., Streli; P., Hoenicke; B., Beckhoff; Bersani, Massimo | |
In situ sputtering rate measurement by laser interferometer applied to SIMS analyses | 1-gen-2003 | Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; E., Boscolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Anderle, Mariano | |
MCs+ and MCs2+ Molecular Ions Emission from Transition Metal Silicides | 1-gen-2001 | Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Anderle, Mariano | |
Multi-technique characterization of arsenic ultra shallow junctions in silicon within the ANNA consortium. | 1-gen-2009 | Giubertoni, Damiano; Pepponi, Giancarlo; B., Beckhoff; P., Hoenicke; Gennaro, Salvatore; Meirer, Florian; D., Ingerle; G., Steinhauser; M., Fried; P., Petrik; A., Parisini; M. A., Reading; C., Streli; J. A., van den Berg; Bersani, Massimo | |
Multi-variate analysis of ToF-SIMS images of ancient ceramics | 1-gen-2012 | Brigidi, Fabio; Gennaro, Salvatore; Meirer, Florian; Dell'Anna, Rossana; Pepponi, Giancarlo; Bersani, Massimo; P., sciau | |
Multilayer silicon rich oxy-nitride films characterization by SIMS, VASE and AFM | 1-gen-2007 | Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; Pucker, Georg; C., Kompocholis; Ghulinyan, Mher; Bellutti, Pierluigi | |
Nanotensile tests, microscopy characterization and atomistic simulations of carbon nanotubes fibers | 1-gen-2013 | Maria F., Pantano; Vesselin, Shanov; Mark J., Schulz; Fedrizzi, Michele; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Taioli, Simone; Silvio A., Beccara; Pugno, Nicola | |
Nitride Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical and Phisico-Chemical Characterization by Complementary Surface Techniques | 1-gen-2002 | Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali | |
Quality management system and accreditation of measurements in a surface science laboratory. The case study of MiNALab. | 1-gen-2013 | Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Gennaro, Salvatore; Pecoraro, F.; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Bortolotti, Mauro; Pepponi, Giancarlo; Fedrizzi, Michele; Bersani, Massimo |
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Tipologia
- 4 Contributo in Atti di Convegno ... 39
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Data di pubblicazione
- 2010 - 2014 18
- 2001 - 2009 21
Editore
- A. Rossi, B. Elsener grafiche Gh... 1
Keyword
- SIMS 10
- GIXRF 3
- ultra shallow junctions 3
- accreditation 2
- AFM 2
- arsenic 2
- asbestos 2
- ISO/IEC 17025 2
- SEM 2
- silicon 2
Lingua
- eng 36
Accesso al fulltext
- no fulltext 39