IRIS Institutional Research Information System

TiN/STO/TiN MIMcaps nanolayers on silicon characterized by SIMS and AFM

Barozzi, Mario;Iacob, Erica;Bersani, Massimo
2011-01-01
2011
4.3 Poster
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11582/115212
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