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Induced roughness by low energy ion bombardment 1-gen-2004 Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
Topography induced by sputtering in a magnetic sector instrument: an AFM and SEM study 1-gen-2004 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; A., Lui; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
Study of nanoscale structures induced by low energy ion beam 1-gen-2004 Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Bersani, Massimo
Porosity- induced effects during C4F8/90% Ar plasma etching of silica-based ultralow-k dielectrics 1-gen-2005 Lazzeri, Paolo; X., Hua; G. S., Oehrlein; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
Comparison between the SIMS and MEIS techniques for the characterization of ultra shallow arsenic implants" 1-gen-2005 Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Iacob, Erica; J. A., van den Berg; M., Werner
Suppression of boron interstitial clusters in SOI using vacancy engineering 1-gen-2005 A. J., Smith; B., Colombeau; R., Gwilliam; N. E. B., Cowern; B. J., Sealy; M., Milosavljevic; E., Collart; Gennaro, Salvatore; Bersani, Massimo; Barozzi, Mario
SURFACE INVESTIGATIONS OF ARCHAEOLOGICAL GLASSES BY SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY 1-gen-2005 S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G., Giunta; E., Di Paola
Surface investigation of archeological glasses by secondary ion mass spectrometry 1-gen-2005 S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G., Giunta; E., di Paola
ToF-SIMS and AFM studies of low-k dielectric etching in fluorocarbon plasmas 1-gen-2005 Lazzeri, Paolo; X., Hua; G., Oehrlein; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
Induced roughness during SIMS analysis by low energy Cs+ beam 1-gen-2005 Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
Homogeneity study of traces in pine pollen with SR-μXRF 1-gen-2005 Pepponi, Giancarlo; Lazzeri, Paolo; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; B., Kashani; L., Contardi; N., Zoeger; C., Jokubonis; C., Streli; P., Wobrauscheck; E., Gottardini; F., Corradini; R., Larcher; G., Falkenberg
Boron ultra low energy SIMS depth profiling improved by rotating stage 1-gen-2005 Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
Activated dopant effect on low energy SIMS depth profiling 1-gen-2005 Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; S., Pederzoli; Anderle, Mariano; Iacob, Erica; Bersani, Massimo
Diffusion of indium implanted in silicon: the effect of the pre-amorphisation treatment and of the presence of carbon 1-gen-2005 Gennaro, Salvatore; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; B. J., Sealy; R., Gwilliam
Ultra shallow junction analysis for technology nodes beyond 65nm 1-gen-2005 Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
ToF-SIMS and AFM studies of low-k dielectric etching in fluorocarbon plasmas 1-gen-2006 P., Lazzeri; X., Hua; G. S., Oehrlein; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; M., Anderle
Real-time observation and optimization of tungsten ALD process cycle 1-gen-2006 W., Lei; L., Henn Lecordier; Anderle, Mariano; G. W., Rubloff; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo
Junction Stability of B Doped Layers in SOI Formed with Optimized Vacancy Engineering Implants 1-gen-2006 A. J., Smith; N. E. B., Cowern; B., Colombeau; R., Gwilliam; B. J., Sealy; E. J. H., Collart; Gennaro, Salvatore; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Barozzi, Mario
Influence of changes in the resistivity of the sample surface on ultra-shallow SIMS profiles for arsenic 1-gen-2006 Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; S., Pederzoli; Anderle, Mariano; Iacob, Erica; Bersani, Massimo
Boron Ultra Low Energy SIMS Depth Profiling Improved by Rotating Stage 1-gen-2006 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; M., Anderle
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