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EnglishD-Sims and TOF-SIMS quantitative depth profiles on ultra thin oxinitrides / M. Bersani; D. Giubertoni; M. Barozzi; E. Iacob; L. Vanzetti; M. Anderle; P. Lazzeri; B. Crivelli; F. Zanderigo. - (2001). ((Intervento presentato al convegno 13th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry and related topics, SIMS XIII tenutosi a Nara, Japan nel da 11/11/2001 a 11/16/2001.
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| Titolo: | D-Sims and TOF-SIMS quantitative depth profiles on ultra thin oxinitrides |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2001 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11582/51200 |
| Appare nelle tipologie: | 5.12 Altro |
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http://hdl.handle.net/11582/51200
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