Sputtered Neutral and Molecular Ion Mass Spectrometries in the Characterization of Multilayer Samples

Moro, L.; Canteri, Roberto; Anderle, Mariano

Sputtered Neutral and Molecular Ion Mass Spectrometries in the Characterization of Multilayer Samples / L. Moro; Roberto Canteri; Mariano Anderle. - In: SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS. - ISSN 0142-2421. - 18(1992), pp. 765-772.

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Titolo:	Sputtered Neutral and Molecular Ion Mass Spectrometries in the Characterization of Multilayer Samples
Autori:	L. Moro Canteri, Roberto Anderle, Mariano mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	1992
Rivista:	SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS
Handle:	http://hdl.handle.net/11582/4480
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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