Sputtered Neutral and Molecular Ion Mass Spectrometries in the Characterization of Multilayer Samples / L. Moro; Roberto Canteri; Mariano Anderle. - In: SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS. - ISSN 0142-2421. - 18(1992), pp. 765-772.
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Titolo: | Sputtered Neutral and Molecular Ion Mass Spectrometries in the Characterization of Multilayer Samples |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 1992 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11582/4480 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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