Electrical and Structural Characterization of Silicon Layers Directly Doped with Boron by Excimer Laser Irradiation / R. Nipoti; M. Bianconi; R. Fabbri; M. Servidori; S. Nicoletti; Roberto Canteri. - In: APPLIED SURFACE SCIENCE. - ISSN 0169-4332. - 43(1991), pp. 321-324.
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Titolo: | Electrical and Structural Characterization of Silicon Layers Directly Doped with Boron by Excimer Laser Irradiation |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 1991 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11582/4464 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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