Hydrogen Implantation into (100) Silicon: A Study of the Released Damage

Meda, L.; Cerofolini, G. F.; Dierckx, R.; Mercurio, G.; Servidori, M.; Cembali, F.; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto; Ottaviani, G.; Claeys, C. L.; Vanhellement, J.

Hydrogen Implantation into (100) Silicon: A Study of the Released Damage / L. Meda; G.F. Cerofolini; R. Dierckx; G. Mercurio; M. Servidori; F. Cembali; Mariano Anderle; Roberto Canteri; G. Ottaviani; C.L. Claeys; J. Vanhellement. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 39(1989), pp. 381-385.

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Titolo:	Hydrogen Implantation into (100) Silicon: A Study of the Released Damage
Autori:	L. Meda G. F. Cerofolini R. Dierckx G. Mercurio M. Servidori F. Cembali Anderle, Mariano Canteri, Roberto G. Ottaviani C. L. Claeys J. Vanhellement mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	1989
Rivista:	NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS
Handle:	http://hdl.handle.net/11582/4457
Appare nelle tipologie:	1.1 Articolo in rivista

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