Hydrogen Implantation into (100) Silicon: A Study of the Released Damage / L. Meda; G.F. Cerofolini; R. Dierckx; G. Mercurio; M. Servidori; F. Cembali; Mariano Anderle; Roberto Canteri; G. Ottaviani; C.L. Claeys; J. Vanhellement. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 39(1989), pp. 381-385.
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Titolo: | Hydrogen Implantation into (100) Silicon: A Study of the Released Damage |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 1989 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11582/4457 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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