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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Silicon microtechnology for microfluidic 1-gen-2018 Giacomozzi, Flavio
Single-Pole Double-Thru and True Time Delay Lines in Alumina Packaging Based on RF MEMS Switches in Silicon Technology 1-gen-2009 Giorgio DE, Angelis; Andrea, Lucibello; Romolo, Marcelli; Simone, Catoni; Antonio, Lanciano; Roberta, Buttiglione; Massimiliano, Dispenza; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Maglione, Alfredo; Erspan, Mirko; Chantal, Combi
Smart Vision Chips in CCD and CCD/CMOS Technologies 1-gen-1995 Soncini, Giovanni; Bellutti, Pierluigi; Boscardin, Maurizio; Giacomozzi, Flavio; Gottardi, Massimo; Zen, Mario
Stress characterization of electroplated gold layers for low temperature surface micromachining 1-gen-2003 Margesin, Benno; Bagolini, Alvise; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; Ramjay, Pal; Decarli, Massimiliano
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2003 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
Stress Characterization of Silicon Oxide, Silicon Nitride, Chromium and Gold Films for Micromechanics 1-gen-2004 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Faes, Alessandro; R., Pal; Decarli, Massimiliano
STRESS-STRAIN BEHAVIOUR OF ELECTROPLATED GOLD THIN FILMS 1-gen-2004 Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio
Structural changes of Ti/TiN/Cr/Au multilayers after high temperature annealing 1-gen-2000 D., Vincenzi; M. A., Butturi; M., Stefancich; V., Guidi; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Boscarino; Mea G., Della
STUDY OF AN ELECTRO-MECHANIC MECHANISM EXPLOITING IN-PLANE ROTATION FOR THE REALIZATION OF TUNEABLE CAPACITORS 1-gen-2010 P. T., Savadkoohi; Margesin, Benno; Vasilache, Dan Adrian; Giacomozzi, Flavio
Superconductivity in crystalline and amorphous Nb-Zr thin films 1-gen-1988 Cavalleri, Antonella; Dapor, Maurizio; Giacomozzi, Flavio; Luis, Guzman; Ossi, P.; Scotoni, M.
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Autore
  • Margesin, Benno 181
  • Colpo, Sabrina 53
  • Zen, Mario 41
  • Lorenzelli, Leandro 39
  • Guarnieri, Vittorio 34
  • Iannacci, Jacopo 32
  • Mulloni, Viviana 32
  • Faes, Alessandro 23
  • Soncini, Giovanni 22
  • Vasilache, Dan Adrian 14
Data di pubblicazione
  • 2020 - 2024 25
  • 2010 - 2019 89
  • 2000 - 2009 140
  • 1990 - 1999 23
  • 1985 - 1989 6
Editore
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Rivista
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Serie
  • LECTURE NOTES IN ELECTRICAL ENGIN... 1
Keyword
  • RF MEMS 24
  • MEMS 13
  • RF-MEMS 9
  • RF-MEMS switch 8
  • DRIE 6
  • micromachining 5
  • Agriculture 4
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Lingua
  • eng 249
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