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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Sample topography developed by sputtering in a Cameca instruments: an AFM and SEM study 1-gen-2002 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Lui, Alberto; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
SIMS RSFs in silicon for positive secondary ions with O2+ 1keV at 63° incidence sputtering beam and Zalar rotation. 1-gen-2013 Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Bersani, Massimo
Structural Analysis and Depth Profiling of Nanometric SiO2/SRO Multilayers 1-gen-2011 Barozzi, Mario; Gennaro, Salvatore; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Jestin, Yoann; Pucker, Georg; S., Milita; R., Balboni
Study of nanoscale structures induced by low energy ion beam 1-gen-2004 Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Bersani, Massimo
TiN/STO/TiN MIMcaps nanolayers on silicon characterized by SIMS and AFM 1-gen-2011 Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Jaap Van Den, Berg; Mike, Reading; Christoph, Adelmann; Hilde, Tielens; Bersani, Massimo; Mihaela, Popovici
TiN/STO/TiN MIMcaps nanolayers on silicon characterized by SIMS and AFM 1-gen-2011 Barozzi, Mario; Iacob, Erica; J. A., van den Berg; M. A., Reading; C., Adelmann; M., Popovici; H., Tielens; Bersani, Massimo
ToF-SIMS and AFM studies of low-k dielectric etching in fluorocarbon plasmas 1-gen-2005 Lazzeri, Paolo; X., Hua; G., Oehrlein; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
Topography developed by sputtering in a magnetic sector instruments: an AFM and SEM study’ 1-gen-2003 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Lui, Alberto; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
X-ray Photoelectron Spectroscopy of Nitrided Silicon-Silicon Oxide Interface 1-gen-2002 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
XPS and SIMS Depth Profiling of Chlorine in Oxynitrides Obtained by HTO Process 1-gen-2001 Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; M., Sbetti; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; R., Zonca; C., Carpanese; F., Zanderigo
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Tipologia
  • 4 Contributo in Atti di Convegno ... 20
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Autore
  • Bersani, Massimo 20
  • Iacob, Erica 19
  • Giubertoni, Damiano 14
  • Anderle, Mariano 10
  • Vanzetti, Lia Emanuela 10
  • Gennaro, Salvatore 3
  • Pucker, Georg 3
  • Lui, Alberto 2
  • Bellutti, Pierluigi 1
  • Bortolotti, Mauro 1
Data di pubblicazione
  • 2010 - 2013 6
  • 2001 - 2009 14
Editore
  • A. Rossi, B. Elsener grafiche Gh... 1
Keyword
  • SIMS 4
  • AFM 2
  • accreditation 1
  • ALD 1
  • asbestos 1
  • ISO 1
  • ISO/IEC 17025 1
  • PECVD 1
  • ripples 1
  • RSF 1
Lingua
  • eng 20
Accesso al fulltext
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