The vacuum evaporated Ti/Au and Ti/Pt/Au metallizzations were studied for the preparation of non-alloyed ohmic contacts to p-type InGaAsP.

Non-alloyed Ti/Au and Ti/Pt/Au ohmic contacts to p-type InGaAsP

Dapor, Maurizio;Micheli, Victor
1993

Abstract

The vacuum evaporated Ti/Au and Ti/Pt/Au metallizzations were studied for the preparation of non-alloyed ohmic contacts to p-type InGaAsP.
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