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Fabrication by rf-sputtering processing of Er3+ / Yb3+ codoped silica-titania planar waveguides 1-gen-2002 Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; R. R., Gonsalves; M., Brenci; Pelli, Stefano; G. C., Righini; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Casa P., Della
Enhanced spectroscopic properties at 1.5 um in Er3+ / Yb+3 activated silica-titania planar waveguides fabricated by rf-sputtering 1-gen-2002 Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; Pelli, Stefano; G. C., Righini; Mariano, Ferrari; Luca, Zampedri; Monteil, Andrè Lucien; Lazzeri, Paolo
ToF-SIMS and XPS charcterisation of urban aerosols for pollution studies 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo
Vitalità e caratterizzazione chimico-fisica dei pollini come indicatori di inquinamento atmosferico 1-gen-2003 Elena Gottardini; Paolo Lazzeri; Giancarlo Pepponi; Fabiana Cristofolini; Eva Carli
Ultra Shallow Depth Profiling by Secondary Ion Mass Spectrometry Techniques 1-gen-2003 Anderle, Mariano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Lazzeri, Paolo
ToF-SIMS study of adhesive residuals on device contact pads after wafer taping and backgrinding 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo
D-SIMS and ToF-SIMS quantitative depth profiles comparison on ultra thin oxynitrides 1-gen-2003 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Lazzeri, Paolo; B., Crivelli; F., Zanderigo
To-F-SIMS and XPS characterization of urban aerosols for pollution studies 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; G., Clauser; E., Jacob; Lui, Alberto; G., Toninandel; Anderle, Mariano
Material Characterization and the Formation of Nanoporous PMSSQ Low-K Dielectrics 1-gen-2003 Paolo Lazzeri; Lia Emanuela Vanzetti; Erica Iacob; Massimo Bersani; Mariano Anderle; Jung Jin Park; Z. Lin; R.M. Briber; Gary Wayne Rubloff; D.R. Miller
Morphology structure and interfaces in the preparation of films by SUMBE for gas sensing 1-gen-2003 Iacob, Erica; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Coppedè, Nicola; Lazzeri, Paolo; Micheli, Victor; Pallaoro, Alessia; Toccoli, Tullio; Iannotta, Salvatore
Material characterization and the formation of nanoporous PMSSQ low-k dielectrics 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; J. J., Park; Z. Lin R. M., Briber; G. W., Rubloff; R. D., Miller
Pollen Viability for Air Pollution Bio-Monitoring 1-gen-2004 E. Gottardini; F. Cristofolini; E. Paoletti; P. Lazzeri; G. Pepponi
ToF-SIMS studies of nanoporous PMSSQ materials: Kinetics and reactions in the processing of low-K dielectrics for ULSI applications 1-gen-2004 Lazzeri, Paolo; G. W., Rubloff; Vanzetti, Lia Emanuela; R. M., Briber; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; H. J. J., Park; C., Kim; W., Volksen; R. D., Miller; Z., Lin
Quantitative Evaluation of Iron at the Silicon Surface after Wet Cleaning Treatments 1-gen-2004 D., Caputo; P., Bacciaglia; C., Carpanese; M. L., Polignano; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; P., Pianeta; L., Moro
Total reflection X-ray fluorescence analysis of pollen as an indicator for atmospheric pollution 1-gen-2004 Pepponi, Giancarlo; Lazzeri, Paolo; N., Coghe; Bersani, Massimo; E., Gottardini; F., Cristofolini; G., Clauser; A., Torboli
Investigation of surface modifications of 193 and 248 nm photoresist materials during low-pressure plasma etching 1-gen-2004 L., Ling; X., Hua; X., Li; G. S., Oehrlein; E. A., Hudson; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano
Enhanced spectroscopic properties at 1.5 micron in Er3+/Yb3+ -activated silica-titania planar waveguides fabricated by rf-sputtering 1-gen-2004 Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; S., Pelli; G. C., Righini; M., Ferrari; L., Zampedri; A., Monteil; Lazzeri, Paolo
Integration of Benzocyclobutene Polymers and Silicon Micromachined Structures Using Anisotropic Wet Etching J. Vac. Sci. Technol. B 1-gen-2004 N., Ghalichechian; A., Modafe; R., Ghodssi; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano
Chemical and morphological characterization of nanoporous silica low-k dielectrics etched in fluorocarbon plasmas 1-gen-2004 Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; X., Hua; Iacob, Erica; C. K., Inoki; P., Jiang; T. S., Kuan; G. S., Oehrlein
Porosity- induced effects during C4F8/90% Ar plasma etching of silica-based ultralow-k dielectrics 1-gen-2005 Lazzeri, Paolo; X., Hua; G. S., Oehrlein; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
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