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Fabrication by rf-sputtering processing of Er3+ / Yb3+ codoped silica-titania planar waveguides 1-gen-2002 Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; R. R., Gonsalves; M., Brenci; Pelli, Stefano; G. C., Righini; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Casa P., Della
Arsenic shallow implant characterization by magnetic sector and time of flight SIMS instruments 1-gen-2002 Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Marchi E., Boscolo; Anderle, Mariano
ToF-SIMS and XPS charcterisation of urban aerosols for pollution studies 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo
Ultra Shallow Depth Profiling by Secondary Ion Mass Spectrometry Techniques 1-gen-2003 Anderle, Mariano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Lazzeri, Paolo
To-F-SIMS and XPS characterization of urban aerosols for pollution studies 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; G., Clauser; E., Jacob; Lui, Alberto; G., Toninandel; Anderle, Mariano
ToF-SIMS study of adhesive residuals on device contact pads after wafer taping and backgrinding 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo
D-SIMS and ToF-SIMS quantitative depth profiles comparison on ultra thin oxynitrides 1-gen-2003 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Lazzeri, Paolo; B., Crivelli; F., Zanderigo
Morphology structure and interfaces in the preparation of films by SUMBE for gas sensing 1-gen-2003 Iacob, Erica; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Coppedè, Nicola; Lazzeri, Paolo; Micheli, Victor; Pallaoro, Alessia; Toccoli, Tullio; Iannotta, Salvatore
Material characterization and the formation of nanoporous PMSSQ low-k dielectrics 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; J. J., Park; Z. Lin R. M., Briber; G. W., Rubloff; R. D., Miller
Material Characterization and the Formation of Nanoporous PMSSQ Low-K Dielectrics 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; Jung Jin, Park; Z., Lin; R. M., Briber; Gary Wayne, Rubloff; D. R., Miller
Vitalità e caratterizzazione chimico-fisica dei pollini come indicatori di inquinamento atmosferico 1-gen-2003 Elena, Gottardini; Lazzeri, Paolo; Pepponi, Giancarlo; Fabiana, Cristofolini; Eva, Carli
Quantitative Evaluation of Iron at the Silicon Surface after Wet Cleaning Treatments 1-gen-2004 D., Caputo; P., Bacciaglia; C., Carpanese; M. L., Polignano; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; P., Pianeta; L., Moro
ToF-SIMS studies of nanoporous PMSSQ materials: Kinetics and reactions in the processing of low-K dielectrics for ULSI applications 1-gen-2004 Lazzeri, Paolo; G. W., Rubloff; Vanzetti, Lia Emanuela; R. M., Briber; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; H. J. J., Park; C., Kim; W., Volksen; R. D., Miller; Z., Lin
Total reflection X-ray fluorescence analysis of pollen as an indicator for atmospheric pollution 1-gen-2004 Pepponi, Giancarlo; Lazzeri, Paolo; N., Coghe; Bersani, Massimo; E., Gottardini; F., Cristofolini; G., Clauser; A., Torboli
Enhanced spectroscopic properties at 1.5 micron in Er3+/Yb3+ -activated silica-titania planar waveguides fabricated by rf-sputtering 1-gen-2004 Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; S., Pelli; G. C., Righini; M., Ferrari; L., Zampedri; A., Monteil; Lazzeri, Paolo
Investigation of surface modifications of 193 and 248 nm photoresist materials during low-pressure plasma etching 1-gen-2004 L., Ling; X., Hua; X., Li; G. S., Oehrlein; E. A., Hudson; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano
Integration of Benzocyclobutene Polymers and Silicon Micromachined Structures Using Anisotropic Wet Etching J. Vac. Sci. Technol. B 1-gen-2004 N., Ghalichechian; A., Modafe; R., Ghodssi; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano
Chemical and morphological characterization of nanoporous silica low-k dielectrics etched in fluorocarbon plasmas 1-gen-2004 Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; X., Hua; Iacob, Erica; C. K., Inoki; P., Jiang; T. S., Kuan; G. S., Oehrlein
Pollen Viability for Air Pollution Bio-Monitoring 1-gen-2004 E., Gottardini; F., Cristofolini; E., Paoletti; Lazzeri, Paolo; Pepponi, Giancarlo
Thin Film Transformations and Volatile Products in the Formation of Nanoporous Low-K PMSSQ-based Dielectric 1-gen-2005 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; J. J., Park; Z., Lin; R. M., Briber; G. W., Rubloff; H. C., Kim; R. D., Miller
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