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Fabrication by rf-sputtering processing of Er3+ / Yb3+ codoped silica-titania planar waveguides
2002-01-01 Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; R. R., Gonsalves; M., Brenci; Pelli, Stefano; G. C., Righini; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Casa P., Della
Enhanced spectroscopic properties at 1.5 um in Er3+ / Yb+3 activated silica-titania planar waveguides fabricated by rf-sputtering
2002-01-01 Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; Pelli, Stefano; G. C., Righini; Mariano, Ferrari; Luca, Zampedri; Monteil, Andrè Lucien; Lazzeri, Paolo
Ultra Shallow Depth Profiling by Secondary Ion Mass Spectrometry Techniques
2003-01-01 Anderle, Mariano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Lazzeri, Paolo
Vitalità e caratterizzazione chimico-fisica dei pollini come indicatori di inquinamento atmosferico
2003-01-01 Elena, Gottardini; Lazzeri, Paolo; Pepponi, Giancarlo; Fabiana, Cristofolini; Eva, Carli
ToF-SIMS and XPS charcterisation of urban aerosols for pollution studies
2003-01-01 Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo
ToF-SIMS study of adhesive residuals on device contact pads after wafer taping and backgrinding
2003-01-01 Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo
D-SIMS and ToF-SIMS quantitative depth profiles comparison on ultra thin oxynitrides
2003-01-01 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Lazzeri, Paolo; B., Crivelli; F., Zanderigo
To-F-SIMS and XPS characterization of urban aerosols for pollution studies
2003-01-01 Lazzeri, Paolo; G., Clauser; E., Jacob; Lui, Alberto; G., Toninandel; Anderle, Mariano
Material Characterization and the Formation of Nanoporous PMSSQ Low-K Dielectrics
2003-01-01 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; Jung Jin, Park; Z., Lin; R. M., Briber; Gary Wayne, Rubloff; D. R., Miller
Material characterization and the formation of nanoporous PMSSQ low-k dielectrics
2003-01-01 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; J. J., Park; Z. Lin R. M., Briber; G. W., Rubloff; R. D., Miller
Morphology structure and interfaces in the preparation of films by SUMBE for gas sensing
2003-01-01 Iacob, Erica; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Coppedè, Nicola; Lazzeri, Paolo; Micheli, Victor; Pallaoro, Alessia; Toccoli, Tullio; Iannotta, Salvatore
ToF-SIMS studies of nanoporous PMSSQ materials: Kinetics and reactions in the processing of low-K dielectrics for ULSI applications
2004-01-01 Lazzeri, Paolo; G. W., Rubloff; Vanzetti, Lia Emanuela; R. M., Briber; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; H. J. J., Park; C., Kim; W., Volksen; R. D., Miller; Z., Lin
Quantitative Evaluation of Iron at the Silicon Surface after Wet Cleaning Treatments
2004-01-01 D., Caputo; P., Bacciaglia; C., Carpanese; M. L., Polignano; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; P., Pianeta; L., Moro
Enhanced spectroscopic properties at 1.5 micron in Er3+/Yb3+ -activated silica-titania planar waveguides fabricated by rf-sputtering
2004-01-01 Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; S., Pelli; G. C., Righini; M., Ferrari; L., Zampedri; A., Monteil; Lazzeri, Paolo
Investigation of surface modifications of 193 and 248 nm photoresist materials during low-pressure plasma etching
2004-01-01 L., Ling; X., Hua; X., Li; G. S., Oehrlein; E. A., Hudson; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano
Total reflection X-ray fluorescence analysis of pollen as an indicator for atmospheric pollution
2004-01-01 Pepponi, Giancarlo; Lazzeri, Paolo; N., Coghe; Bersani, Massimo; E., Gottardini; F., Cristofolini; G., Clauser; A., Torboli
Pollen Viability for Air Pollution Bio-Monitoring
2004-01-01 E., Gottardini; F., Cristofolini; E., Paoletti; Lazzeri, Paolo; Pepponi, Giancarlo
Integration of Benzocyclobutene Polymers and Silicon Micromachined Structures Using Anisotropic Wet Etching J. Vac. Sci. Technol. B
2004-01-01 N., Ghalichechian; A., Modafe; R., Ghodssi; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano
Chemical and morphological characterization of nanoporous silica low-k dielectrics etched in fluorocarbon plasmas
2004-01-01 Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; X., Hua; Iacob, Erica; C. K., Inoki; P., Jiang; T. S., Kuan; G. S., Oehrlein
Thin Film Transformations and Volatile Products in the Formation of Nanoporous Low-K PMSSQ-based Dielectric
2005-01-01 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; J. J., Park; Z., Lin; R. M., Briber; G. W., Rubloff; H. C., Kim; R. D., Miller
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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Fabrication by rf-sputtering processing of Er3+ / Yb3+ codoped silica-titania planar waveguides | 1-gen-2002 | Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; R. R., Gonsalves; M., Brenci; Pelli, Stefano; G. C., Righini; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Casa P., Della | |
Enhanced spectroscopic properties at 1.5 um in Er3+ / Yb+3 activated silica-titania planar waveguides fabricated by rf-sputtering | 1-gen-2002 | Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; Pelli, Stefano; G. C., Righini; Mariano, Ferrari; Luca, Zampedri; Monteil, Andrè Lucien; Lazzeri, Paolo | |
Ultra Shallow Depth Profiling by Secondary Ion Mass Spectrometry Techniques | 1-gen-2003 | Anderle, Mariano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Lazzeri, Paolo | |
Vitalità e caratterizzazione chimico-fisica dei pollini come indicatori di inquinamento atmosferico | 1-gen-2003 | Elena, Gottardini; Lazzeri, Paolo; Pepponi, Giancarlo; Fabiana, Cristofolini; Eva, Carli | |
ToF-SIMS and XPS charcterisation of urban aerosols for pollution studies | 1-gen-2003 | Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo | |
ToF-SIMS study of adhesive residuals on device contact pads after wafer taping and backgrinding | 1-gen-2003 | Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo | |
D-SIMS and ToF-SIMS quantitative depth profiles comparison on ultra thin oxynitrides | 1-gen-2003 | Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Lazzeri, Paolo; B., Crivelli; F., Zanderigo | |
To-F-SIMS and XPS characterization of urban aerosols for pollution studies | 1-gen-2003 | Lazzeri, Paolo; G., Clauser; E., Jacob; Lui, Alberto; G., Toninandel; Anderle, Mariano | |
Material Characterization and the Formation of Nanoporous PMSSQ Low-K Dielectrics | 1-gen-2003 | Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; Jung Jin, Park; Z., Lin; R. M., Briber; Gary Wayne, Rubloff; D. R., Miller | |
Material characterization and the formation of nanoporous PMSSQ low-k dielectrics | 1-gen-2003 | Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; J. J., Park; Z. Lin R. M., Briber; G. W., Rubloff; R. D., Miller | |
Morphology structure and interfaces in the preparation of films by SUMBE for gas sensing | 1-gen-2003 | Iacob, Erica; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Coppedè, Nicola; Lazzeri, Paolo; Micheli, Victor; Pallaoro, Alessia; Toccoli, Tullio; Iannotta, Salvatore | |
ToF-SIMS studies of nanoporous PMSSQ materials: Kinetics and reactions in the processing of low-K dielectrics for ULSI applications | 1-gen-2004 | Lazzeri, Paolo; G. W., Rubloff; Vanzetti, Lia Emanuela; R. M., Briber; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; H. J. J., Park; C., Kim; W., Volksen; R. D., Miller; Z., Lin | |
Quantitative Evaluation of Iron at the Silicon Surface after Wet Cleaning Treatments | 1-gen-2004 | D., Caputo; P., Bacciaglia; C., Carpanese; M. L., Polignano; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; P., Pianeta; L., Moro | |
Enhanced spectroscopic properties at 1.5 micron in Er3+/Yb3+ -activated silica-titania planar waveguides fabricated by rf-sputtering | 1-gen-2004 | Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; S., Pelli; G. C., Righini; M., Ferrari; L., Zampedri; A., Monteil; Lazzeri, Paolo | |
Investigation of surface modifications of 193 and 248 nm photoresist materials during low-pressure plasma etching | 1-gen-2004 | L., Ling; X., Hua; X., Li; G. S., Oehrlein; E. A., Hudson; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano | |
Total reflection X-ray fluorescence analysis of pollen as an indicator for atmospheric pollution | 1-gen-2004 | Pepponi, Giancarlo; Lazzeri, Paolo; N., Coghe; Bersani, Massimo; E., Gottardini; F., Cristofolini; G., Clauser; A., Torboli | |
Pollen Viability for Air Pollution Bio-Monitoring | 1-gen-2004 | E., Gottardini; F., Cristofolini; E., Paoletti; Lazzeri, Paolo; Pepponi, Giancarlo | |
Integration of Benzocyclobutene Polymers and Silicon Micromachined Structures Using Anisotropic Wet Etching J. Vac. Sci. Technol. B | 1-gen-2004 | N., Ghalichechian; A., Modafe; R., Ghodssi; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano | |
Chemical and morphological characterization of nanoporous silica low-k dielectrics etched in fluorocarbon plasmas | 1-gen-2004 | Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; X., Hua; Iacob, Erica; C. K., Inoki; P., Jiang; T. S., Kuan; G. S., Oehrlein | |
Thin Film Transformations and Volatile Products in the Formation of Nanoporous Low-K PMSSQ-based Dielectric | 1-gen-2005 | Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; J. J., Park; Z., Lin; R. M., Briber; G. W., Rubloff; H. C., Kim; R. D., Miller |
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