Surface and Interface analysis of Titanium Nitride Diffusion Barriers / M. Bonelli; A. Miotello; L. Calliari; F. Romanato; A. V. Drigo; A. Carnera. - In: MIKROCHIMICA ACTA. - ISSN 0026-3672. - 114/115(1994), pp. 213-220.
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Titolo: | Surface and Interface analysis of Titanium Nitride Diffusion Barriers |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 1994 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11582/7137 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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