Nitrogen-implantation induced enhanced adhesion of amorphous SiC films deposited on stainless steel and Cu / N. Laidani; A. Miotello; L. Guzman; S. Tuccio; L. Calliari. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - 76:1(1994), pp. 285-294.
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Titolo: | Nitrogen-implantation induced enhanced adhesion of amorphous SiC films deposited on stainless steel and Cu |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 1994 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11582/7136 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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