Multilayer silicon rich oxy-nitride films characterization by SIMS, VASE and AFM
Barozzi, Mario;Vanzetti, Lia Emanuela;Iacob, Erica;Bersani, Massimo;Anderle, Mariano;Pucker, Georg;Ghulinyan, Mher;Bellutti, Pierluigi
2007-01-01
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