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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Electrical properties of electrodeposited gold film for microsystem applications 1-gen-2006 Zen, Mario
Electro-optical characteristics of phodiodes: modelling and validation 1-gen-1990 Lui, Alberto; G. B., Tripodi; G., Vaccari; Zen, Mario; M., Rudan; G., Verzellesi
Electro-optical characterization of photosensors for solid state imagers 1-gen-1992 Margesin, Benno; M. C., Vecchi; Zen, Mario; Zorzi, Nicola; Massimo, Rudan
Electrochemical effects during anisotropic bulk-silicon etching with doped and undoped TMAHW solutions 1-gen-2001 Bellutti, Pierluigi; Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Fabrication of a piston-type condenser microphone with structured polysilicon diaphragm 1-gen-2003 Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Bagolini, Alvise; Zen, Mario
Fabrication of mesoscopic polysilicon wires by surface micromachining techniques 1-gen-2001 Tibuzzi, Arianna; Margesin, Benno; Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; C., Di Natale; Zen, Mario; Soncini, Giovanni; A., D'Amico
Fabrication of millimeter wave devices on dielectric membranes by micromachining technology 1-gen-2002 Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; R., Marcelli; A., Muller
Feasibility study on fabrication of piezoresistive pressure sensors using silicon micromachining technology 1-gen-1998 Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Giacomozzi, Flavio; Gregori, Paolo; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; F., Merz; G., Verzellesi; Zen, Mario
FEM based design and simulation of bulk-micromachined MEMS accelerometers with low cross axis sensitivity 1-gen-2006 R., Mukhiya; Adami, Andrea; Bagolini, Alvise; Zen, Mario; S., Kal
Fili mesoscopici in polisilicio ad elevato rapporto Superficie/Volume 1-gen-2001 Tibuzzi, Arianna; A., D'Amico; C., Di Natale; Margesin, Benno; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
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Tipologia
  • 4 Contributo in Atti di Convegno ... 120
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Autore
  • Margesin, Benno 48
  • Soncini, Giovanni 40
  • Guarnieri, Vittorio 39
  • Giacomozzi, Flavio 29
  • Lorenzelli, Leandro 15
  • Zorzi, Nicola 14
  • Boschetti, Andrea 13
  • Decarli, Massimiliano 13
  • Ferrario, Lorenza 12
  • Adami, Andrea 11
Data di pubblicazione
  • 2010 - 2017 1
  • 2000 - 2009 55
  • 1990 - 1999 48
  • 1980 - 1989 16
Editore
  • IEEE 4
  • no publisher 3
  • Electrochemical Society 2
  • World Scientific Publishing 2
  • Elsevier 1
  • IEEE VDAT 1
  • Royal Society of Chemistry 1
  • SPIE 1
  • Springer 1
  • World Scientific 1
Rivista
  • SENSORS AND ACTUATORS. A, PHYSICAL 2
Serie
  • LECTURE NOTES IN ELECTRICAL ENGIN... 1
Keyword
  • LOCOS isolation 4
  • gas sensors 3
  • gettering 3
  • MEMS 3
  • Accelerometer 2
  • complementary metal-oxide-semicon... 2
  • electrical characterization 2
  • fabrication technology 2
  • gas chromatography 2
  • micromachining 2
Lingua
  • eng 111
  • ita 9
Accesso al fulltext
  • no fulltext 120