Fili mesoscopici in polisilicio sono stati fabbricati impiegando un processo microelettronico e tecniche di micromeccanica di superficie, ottenendo dimensioni laterali minime dei fili di 250 nm, con lunghezza variabile da 100 a 140 um. Ricoperti da 100 nm di palladio, i fili sono stati impiegati come sensori di ifrogeno a temperatura e pressione ambiente; il loro elevato rapporto Superficie/Volume conferisce a tali trasduttori alta sensibilità: in seguito all`assorbimento di 100 ppm di ifrogeno, i fili incrementano la resistenza elettrica fino al 90%. Per produrre un aumento del rapporto S/V, la sezione dei fili è stata ridotta ulteriormente con esperimenti di ossidazione termica tramite laser annealing.
Fili mesoscopici in polisilicio ad elevato rapporto Superficie/Volume
Tibuzzi, Arianna;Margesin, Benno;Zen, Mario;Soncini, Giovanni
2001-01-01
Abstract
Fili mesoscopici in polisilicio sono stati fabbricati impiegando un processo microelettronico e tecniche di micromeccanica di superficie, ottenendo dimensioni laterali minime dei fili di 250 nm, con lunghezza variabile da 100 a 140 um. Ricoperti da 100 nm di palladio, i fili sono stati impiegati come sensori di ifrogeno a temperatura e pressione ambiente; il loro elevato rapporto Superficie/Volume conferisce a tali trasduttori alta sensibilità: in seguito all`assorbimento di 100 ppm di ifrogeno, i fili incrementano la resistenza elettrica fino al 90%. Per produrre un aumento del rapporto S/V, la sezione dei fili è stata ridotta ulteriormente con esperimenti di ossidazione termica tramite laser annealing.I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
