Fili mesoscopici in polisilicio sono stati fabbricati impiegando un processo microelettronico e tecniche di micromeccanica di superficie, ottenendo dimensioni laterali minime dei fili di 250 nm, con lunghezza variabile da 100 a 140 um. Ricoperti da 100 nm di palladio, i fili sono stati impiegati come sensori di ifrogeno a temperatura e pressione ambiente; il loro elevato rapporto Superficie/Volume conferisce a tali trasduttori alta sensibilità: in seguito all`assorbimento di 100 ppm di ifrogeno, i fili incrementano la resistenza elettrica fino al 90%. Per produrre un aumento del rapporto S/V, la sezione dei fili è stata ridotta ulteriormente con esperimenti di ossidazione termica tramite laser annealing.

Fili mesoscopici in polisilicio ad elevato rapporto Superficie/Volume

Tibuzzi, Arianna;Margesin, Benno;Zen, Mario;Soncini, Giovanni
2001

Abstract

Fili mesoscopici in polisilicio sono stati fabbricati impiegando un processo microelettronico e tecniche di micromeccanica di superficie, ottenendo dimensioni laterali minime dei fili di 250 nm, con lunghezza variabile da 100 a 140 um. Ricoperti da 100 nm di palladio, i fili sono stati impiegati come sensori di ifrogeno a temperatura e pressione ambiente; il loro elevato rapporto Superficie/Volume conferisce a tali trasduttori alta sensibilità: in seguito all`assorbimento di 100 ppm di ifrogeno, i fili incrementano la resistenza elettrica fino al 90%. Per produrre un aumento del rapporto S/V, la sezione dei fili è stata ridotta ulteriormente con esperimenti di ossidazione termica tramite laser annealing.
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11582/488
 Attenzione

Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo

Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
social impact