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Damage of ultralow k materials during photoresist mask stripping process
2006-01-01 X., Hua; M., Kuo; G. S., Oehrlein; Lazzeri, Paolo; Iacob, Erica; Anderle, Mariano; C. K., Inoki; T. S., Kuan; P., Jang; Wen li, Wu
Dependence of the transient enhancement diffusion of B in Si on B concentration and ion implanted dose
2002-01-01 S., Solmi; G., Mannino; M., Servidori; Bersani, Massimo; L., Mancini; S., Milita; V., Privitera; Anderle, Mariano
Dependence of Transient Enhanced Diffusion on Defects Depth Position in Ion Implanted Silicon
1989-01-01 Sandro, Solmi; F., Cembali; R., Fabbri; R., Lotti; M., Servidori; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto
Development of DLC film technology for electronic application
2000-01-01 Baranov, A. M.; Varfolomeev, A. E.; Nefedov, A. A.; Anderle, Mariano; Calliari, Lucia; Speranza, Giorgio; Bensaada Laidani, Nadhira
Effect of Materials for Micro-electro-mechanical Systems on PCR Yield
2010-01-01 Potrich, Cristina; Lunelli, Lorenzo; Forti, Stefania; Diego, Vozzi; Pasquardini, Laura; Vanzetti, Lia Emanuela; Cristina, Panciatichi; Anderle, Mariano; Pederzolli, Cecilia
Effect of Si electronic structure of sputtered-deposited C films: an electron spectroscopy study
1999-01-01 Speranza, Giorgio; Bensaada Laidani, Nadhira; Calliari, Lucia; Anderle, Mariano
Effects of oxygen concentration in the Ar/O2 plasma on the bulk structure and surface properties of RF reactively sputtered zirconia thin films
2008-01-01 Gottardi, Gloria; Bensaada Laidani, Nadhira; Micheli, Victor; Bartali, Ruben; Anderle, Mariano
Evidence for Molecular Hydrogen in Single Crystal Silicon
1991-01-01 L., Meda; G. F., Cerofolini; G., Ottaviani; R., Tonini; F., Corni; R., Balboni; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto; R., Dierckx
Grain boundary segregation of oxygen and carbon in polycrystalline silicon.
1987-01-01 S., Pizzini; P., Cagnoni; A., Sandrinelli; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto
Growth of titanium dioxide films by cluster supersonic beams for VOC sensing applications
2003-01-01 Tullio, Toccoli; S., Capone; Luca, Guerini; Anderle, Mariano; Andrea, Boschetti; Iacob, Erica; Micheli, Victor; P., Siciliano; Salvatore, Iannotta
| Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
|---|---|---|---|
| Damage of ultralow k materials during photoresist mask stripping process | 1-gen-2006 | X., Hua; M., Kuo; G. S., Oehrlein; Lazzeri, Paolo; Iacob, Erica; Anderle, Mariano; C. K., Inoki; T. S., Kuan; P., Jang; Wen li, Wu | |
| Dependence of the transient enhancement diffusion of B in Si on B concentration and ion implanted dose | 1-gen-2002 | S., Solmi; G., Mannino; M., Servidori; Bersani, Massimo; L., Mancini; S., Milita; V., Privitera; Anderle, Mariano | |
| Dependence of Transient Enhanced Diffusion on Defects Depth Position in Ion Implanted Silicon | 1-gen-1989 | Sandro, Solmi; F., Cembali; R., Fabbri; R., Lotti; M., Servidori; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto | |
| Development of DLC film technology for electronic application | 1-gen-2000 | Baranov, A. M.; Varfolomeev, A. E.; Nefedov, A. A.; Anderle, Mariano; Calliari, Lucia; Speranza, Giorgio; Bensaada Laidani, Nadhira | |
| Effect of Materials for Micro-electro-mechanical Systems on PCR Yield | 1-gen-2010 | Potrich, Cristina; Lunelli, Lorenzo; Forti, Stefania; Diego, Vozzi; Pasquardini, Laura; Vanzetti, Lia Emanuela; Cristina, Panciatichi; Anderle, Mariano; Pederzolli, Cecilia | |
| Effect of Si electronic structure of sputtered-deposited C films: an electron spectroscopy study | 1-gen-1999 | Speranza, Giorgio; Bensaada Laidani, Nadhira; Calliari, Lucia; Anderle, Mariano | |
| Effects of oxygen concentration in the Ar/O2 plasma on the bulk structure and surface properties of RF reactively sputtered zirconia thin films | 1-gen-2008 | Gottardi, Gloria; Bensaada Laidani, Nadhira; Micheli, Victor; Bartali, Ruben; Anderle, Mariano | |
| Evidence for Molecular Hydrogen in Single Crystal Silicon | 1-gen-1991 | L., Meda; G. F., Cerofolini; G., Ottaviani; R., Tonini; F., Corni; R., Balboni; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto; R., Dierckx | |
| Grain boundary segregation of oxygen and carbon in polycrystalline silicon. | 1-gen-1987 | S., Pizzini; P., Cagnoni; A., Sandrinelli; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto | |
| Growth of titanium dioxide films by cluster supersonic beams for VOC sensing applications | 1-gen-2003 | Tullio, Toccoli; S., Capone; Luca, Guerini; Anderle, Mariano; Andrea, Boschetti; Iacob, Erica; Micheli, Victor; P., Siciliano; Salvatore, Iannotta |
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