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Low Temperature Dopant Activation of BF2 Implanted Silicon
1991-01-01 G., Queirolo; C., Bresolin; D., Robba; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto; A., Armigliato; G., Ottaviani; S., Frabboni
Materials modeling for photonic applications
2006-01-01 Speranza, Giorgio; Minati, Luca; Anderle, Mariano
Mechanical and tribological properties of CNx films deposited by reactive pulsed laser ablation
2002-01-01 A., Zocco; A., Perrone; E., Broitman; Czigàny, Z. s. Hultman L.; Anderle, Mariano; Bensaada Laidani, Nadhira
Non-Linear Phenomena in Hydrogen Implantation into (100) Silicon
1989-01-01 G. F., Cerofolini; L., Meda; C., Volpones; R., Dierckx; G., Mercurio; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto; F., Cembali; R., Fabbri; M., Servidori
On the photoresist stripping and damage of ultralow k dielectric materials using remote H2- and D2-based discharges
2007-01-01 Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G. J., Stueber; G. S., Oehrlein; E., Bush; R., Mcgowan
On the silicon dioxide/polycrystalline silicon interface width measurement
1988-01-01 Giuseppe, Queirolo; S., Manzini; L., Meda; Canteri, Roberto; Anderle, Mariano; A., Armigliato; S., Frabboni
Optical absorption in ZrO2-x-C nanocomposite films on polymer substrates: application of an effective medium theory
2008-01-01 P., Cheyssac; Bensaada Laidani, Nadhira; Anderle, Mariano
Optical absorption parameters of amorphous carbon films from Forouhi-Bloomer and Tauc-Lorentz models: a comparative study
2008-01-01 Bensaada Laidani, Nadhira; Bartali, Ruben; Gottardi, Gloria; Anderle, Mariano; P., Cheyssac
Optical and mechanical characterization of zirconia–carbon nanocomposite films
2008-01-01 Bensaada Laidani, Nadhira; Micheli, Victor; Bartali, Ruben; Gottardi, Gloria; Anderle, Mariano
Optimization of secondary ion mass spectrometry ultra-shallow boron profiles using an oblique incidence O2+ beam
2004-01-01 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
---|---|---|---|
Low Temperature Dopant Activation of BF2 Implanted Silicon | 1-gen-1991 | G., Queirolo; C., Bresolin; D., Robba; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto; A., Armigliato; G., Ottaviani; S., Frabboni | |
Materials modeling for photonic applications | 1-gen-2006 | Speranza, Giorgio; Minati, Luca; Anderle, Mariano | |
Mechanical and tribological properties of CNx films deposited by reactive pulsed laser ablation | 1-gen-2002 | A., Zocco; A., Perrone; E., Broitman; Czigàny, Z. s. Hultman L.; Anderle, Mariano; Bensaada Laidani, Nadhira | |
Non-Linear Phenomena in Hydrogen Implantation into (100) Silicon | 1-gen-1989 | G. F., Cerofolini; L., Meda; C., Volpones; R., Dierckx; G., Mercurio; Anderle, Mariano; Canteri, Roberto; F., Cembali; R., Fabbri; M., Servidori | |
On the photoresist stripping and damage of ultralow k dielectric materials using remote H2- and D2-based discharges | 1-gen-2007 | Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G. J., Stueber; G. S., Oehrlein; E., Bush; R., Mcgowan | |
On the silicon dioxide/polycrystalline silicon interface width measurement | 1-gen-1988 | Giuseppe, Queirolo; S., Manzini; L., Meda; Canteri, Roberto; Anderle, Mariano; A., Armigliato; S., Frabboni | |
Optical absorption in ZrO2-x-C nanocomposite films on polymer substrates: application of an effective medium theory | 1-gen-2008 | P., Cheyssac; Bensaada Laidani, Nadhira; Anderle, Mariano | |
Optical absorption parameters of amorphous carbon films from Forouhi-Bloomer and Tauc-Lorentz models: a comparative study | 1-gen-2008 | Bensaada Laidani, Nadhira; Bartali, Ruben; Gottardi, Gloria; Anderle, Mariano; P., Cheyssac | |
Optical and mechanical characterization of zirconia–carbon nanocomposite films | 1-gen-2008 | Bensaada Laidani, Nadhira; Micheli, Victor; Bartali, Ruben; Gottardi, Gloria; Anderle, Mariano | |
Optimization of secondary ion mass spectrometry ultra-shallow boron profiles using an oblique incidence O2+ beam | 1-gen-2004 | Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo |
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