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Depth profiling and quantification of chlorine and nitrogen in oxynitrides obtained by HTO process
2000-01-01 Bersani, Massimo; M., Sbettti; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica
Dopant Redistribution Analysis in RiSi2/Si Systems by SIMS
1998-01-01 M., Sbetti; Bersani, Massimo; Fedrizzi, Michele; S. a., Beccara; Anderle, Mariano
Grazing Incidence X-Ray Fluorescence characterisation of Ultra Shallow Junctions in the ANNA consortium
2008-01-01 Pepponi, Giancarlo; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; N., Zoeger; C., Streli; B., Beckhoff; P., Hoenicke; M., Kolbe; M., Mueller
Highly Sensitive Detection of Inorganic Contamination
2008-01-01 Burkhard, Beckhoff; Andreas, Nutsch; Roswitha, Altmann; G., Borionetti; C., Pello; Maria Luisa, Polignano; Davide, Codegoni; Salvo, Grasso; Elena, Cazzini; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Gennaro, Salvatore; Michael, Kolbe; Matthias, Müller; P., Kregsamer; Florian, Posch
Homogeneity study of traces in pine pollen with SR-μXRF
2005-01-01 Pepponi, Giancarlo; Lazzeri, Paolo; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; B., Kashani; L., Contardi; N., Zoeger; C., Jokubonis; C., Streli; P., Wobrauscheck; E., Gottardini; F., Corradini; R., Larcher; G., Falkenberg
Induced roughness during SIMS analysis by low energy Cs+ beam
2004-01-01 Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Bersani, Massimo
ispettiva di sorveglianza 04-05 Luglio 2013
2013-01-01 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Fedrizzi, Michele; Bortolotti, Mauro
ispettiva di sorveglianza 6-7 giugno 2012.
2012-01-01 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Bortolotti, Mauro; Gennaro, Salvatore; Fedrizzi, Michele
Material characterization and the formation of nanoporous PMSSQ low-k dielectrics
2003-01-01 Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; J. J., Park; Z. Lin R. M., Briber; G. W., Rubloff; R. D., Miller
Morphology structure and interfaces in the preparation of films by SUMBE for gas sensing
2003-01-01 Iacob, Erica; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Coppedè, Nicola; Lazzeri, Paolo; Micheli, Victor; Pallaoro, Alessia; Toccoli, Tullio; Iannotta, Salvatore
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
---|---|---|---|
Depth profiling and quantification of chlorine and nitrogen in oxynitrides obtained by HTO process | 1-gen-2000 | Bersani, Massimo; M., Sbettti; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Iacob, Erica | |
Dopant Redistribution Analysis in RiSi2/Si Systems by SIMS | 1-gen-1998 | M., Sbetti; Bersani, Massimo; Fedrizzi, Michele; S. a., Beccara; Anderle, Mariano | |
Grazing Incidence X-Ray Fluorescence characterisation of Ultra Shallow Junctions in the ANNA consortium | 1-gen-2008 | Pepponi, Giancarlo; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; N., Zoeger; C., Streli; B., Beckhoff; P., Hoenicke; M., Kolbe; M., Mueller | |
Highly Sensitive Detection of Inorganic Contamination | 1-gen-2008 | Burkhard, Beckhoff; Andreas, Nutsch; Roswitha, Altmann; G., Borionetti; C., Pello; Maria Luisa, Polignano; Davide, Codegoni; Salvo, Grasso; Elena, Cazzini; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Gennaro, Salvatore; Michael, Kolbe; Matthias, Müller; P., Kregsamer; Florian, Posch | |
Homogeneity study of traces in pine pollen with SR-μXRF | 1-gen-2005 | Pepponi, Giancarlo; Lazzeri, Paolo; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; B., Kashani; L., Contardi; N., Zoeger; C., Jokubonis; C., Streli; P., Wobrauscheck; E., Gottardini; F., Corradini; R., Larcher; G., Falkenberg | |
Induced roughness during SIMS analysis by low energy Cs+ beam | 1-gen-2004 | Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Bersani, Massimo | |
ispettiva di sorveglianza 04-05 Luglio 2013 | 1-gen-2013 | Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Fedrizzi, Michele; Bortolotti, Mauro | |
ispettiva di sorveglianza 6-7 giugno 2012. | 1-gen-2012 | Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela; Bortolotti, Mauro; Gennaro, Salvatore; Fedrizzi, Michele | |
Material characterization and the formation of nanoporous PMSSQ low-k dielectrics | 1-gen-2003 | Lazzeri, Paolo; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; J. J., Park; Z. Lin R. M., Briber; G. W., Rubloff; R. D., Miller | |
Morphology structure and interfaces in the preparation of films by SUMBE for gas sensing | 1-gen-2003 | Iacob, Erica; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Coppedè, Nicola; Lazzeri, Paolo; Micheli, Victor; Pallaoro, Alessia; Toccoli, Tullio; Iannotta, Salvatore |
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Tipologia
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Data di pubblicazione
- 2010 - 2013 4
- 2000 - 2009 28
- 1998 - 1999 4
Keyword
- SIMS 11
- silicon 9
- arsenic 6
- ion implantation 6
- boron 4
- MEIS 4
- ultra shallow junctions 4
- EXAFS 3
- characterization 2
- doping 2
Lingua
- eng 31
- ita 4
Accesso al fulltext
- no fulltext 36