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NOTA: è possibile cercare una corrispondenza esatta usando i doppi apici, ad es: "evoluzione della specie". Qualora si cerchi un identificativo, è consigliabile cercarlo in due modi differenti: tra apici con caratteri speciali es: "978-94-6366-274" oppure senza caratteri speciali solo come sequenza numerica: es 978946366274.
Ultra shallow junction analysis for technology nodes beyond 65nm
2005-01-01 Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
Ultra shallow junctions: Analytical solutions for 90 nm technology node"
2003-01-01 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; P., Lazzeri; M., Anderle
Ultra thin oxynitride profiles by XPS etch-back analyses
2004-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Ultrathin Multilayer Dielectrics Analyses by XPS wet-etching and SIMS profile
2001-01-01 Iacob, Erica; M., Sbetti; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; B., Crivelli; R., Zonca; F., Zanderigo; M. E., Vitali
Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia
2011-01-01 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano
Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia
2010-01-01 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela
| Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
|---|---|---|---|
| Ultra shallow junction analysis for technology nodes beyond 65nm | 1-gen-2005 | Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo | |
| Ultra shallow junctions: Analytical solutions for 90 nm technology node" | 1-gen-2003 | Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; P., Lazzeri; M., Anderle | |
| Ultra thin oxynitride profiles by XPS etch-back analyses | 1-gen-2004 | Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali | |
| Ultrathin Multilayer Dielectrics Analyses by XPS wet-etching and SIMS profile | 1-gen-2001 | Iacob, Erica; M., Sbetti; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; B., Crivelli; R., Zonca; F., Zanderigo; M. E., Vitali | |
| Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia | 1-gen-2011 | Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano | |
| Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia | 1-gen-2010 | Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela |
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Tipologia
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Data di pubblicazione
- 2010 - 2013 4
- 2000 - 2009 28
- 1998 - 1999 4
Keyword
- SIMS 11
- silicon 9
- arsenic 6
- ion implantation 6
- boron 4
- MEIS 4
- ultra shallow junctions 4
- EXAFS 3
- characterization 2
- doping 2
Lingua
- eng 31
- ita 4
Accesso al fulltext
- no fulltext 36