Boron ultra shallow SIMS profiles optimization using oblique incidence oxygen beam / D. Giubertoni; M. Barozzi; E. Boscolo; M. Anderle; M. Bersani. - (2003), pp. 275-280. ((Intervento presentato al convegno Ultra Shallow Junctions Conference, Santa Cruz tenutosi a Santa Cruz, California nel da 04/27/2003 a 05/01/2003.
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Titolo: | Boron ultra shallow SIMS profiles optimization using oblique incidence oxygen beam |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2003 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11582/20150 |
Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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