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IRIS
We present the fabrication and characterization of opto-mechanical micro-resonators
developed to detect radiation-pressure coupling between light and a macroscopic body. The
major achievements of this work are the development of complex high aspect ratio shapes by
using the deep-RIE Bosch process and the integration of a high-reflectivity dielectric mirror.
The micro-resonators were used as an end-mirror of a Fabry–Perot cavity, attaining an optical
finesse of about 6 × 104, and at cryogenic temperature (about 10 K) we measured a
mechanical quality factor up to 2 × 106 at about 90 kHz. These features make our devices
particularly suitable for experiments on quantum-opto-mechanics.
Fabrication of low loss MOMS resonators for quantum optics experiments
We present the fabrication and characterization of opto-mechanical micro-resonators
developed to detect radiation-pressure coupling between light and a macroscopic body. The
major achievements of this work are the development of complex high aspect ratio shapes by
using the deep-RIE Bosch process and the integration of a high-reflectivity dielectric mirror.
The micro-resonators were used as an end-mirror of a Fabry–Perot cavity, attaining an optical
finesse of about 6 × 104, and at cryogenic temperature (about 10 K) we measured a
mechanical quality factor up to 2 × 106 at about 90 kHz. These features make our devices
particularly suitable for experiments on quantum-opto-mechanics.
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11582/174610
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simulazione ASN
Il report seguente simula gli indicatori relativi alla propria produzione scientifica in relazione alle soglie ASN 2021-2023 del proprio SC/SSD. Si ricorda che il superamento dei valori soglia (almeno 2 su 3) è requisito necessario ma non sufficiente al conseguimento dell'abilitazione. La simulazione si basa sui dati IRIS e sugli indicatori bibliometrici alla data indicata e non tiene conto di eventuali periodi di congedo obbligatorio, che in sede di domanda ASN danno diritto a incrementi percentuali dei valori. La simulazione può differire dall'esito di un’eventuale domanda ASN sia per errori di catalogazione e/o dati mancanti in IRIS, sia per la variabilità dei dati bibliometrici nel tempo. Si consideri che Anvur calcola i valori degli indicatori all'ultima data utile per la presentazione delle domande.
La presente simulazione è stata realizzata sulla base delle specifiche raccolte sul tavolo ER del Focus Group IRIS coordinato dall’Università di Modena e Reggio Emilia e delle regole riportate nel DM 589/2018 e allegata Tabella A. Cineca, l’Università di Modena e Reggio Emilia e il Focus Group IRIS non si assumono alcuna responsabilità in merito all’uso che il diretto interessato o terzi faranno della simulazione. Si specifica inoltre che la simulazione contiene calcoli effettuati con dati e algoritmi di pubblico dominio e deve quindi essere considerata come un mero ausilio al calcolo svolgibile manualmente o con strumenti equivalenti.