Matrici di sensori chimici integrati in silicio potenzialmente fabbricabili in grandi volumi a basso costo ed accoppiabili con circuiti di elaborazione atti a formare microsistemi di diagnostica biochimica e biomedicale sono oggetto di intensa attività di ricerca e sviluppo, ed alcune prime realizzazioni stanno trovando il loro spazio in nicchie di mercato in rapida crescita. Questo lavoro intende illustrare i principi di funzionamento di questi sensori, con enfasi sugli ISFET (Ion Sensitive Field Effect Transistors) dato il loro interesse scientifico ed aplicativo, evidenziando le potenzialità e le attuali limitazioni in termini di prestazioni ed affidabilità operativa. Alcuni esempi di microsistemi biochimici recentemente sviluppati dagli autori nell`ambito di progetti europei vengono riportati come esemplificativi di applicazioni della sensoristica bio-chimica integrata in silicio nel monitoraggio ambientale che, con la biomedica, rappresenta il principale settore in cui questa tipololgia di microsensori potrebbe commercialmente affermarsi.

Sensori chimici integrati in silicio

Soncini, Giovanni;Margesin, Benno;Zen, Mario
1997

Abstract

Matrici di sensori chimici integrati in silicio potenzialmente fabbricabili in grandi volumi a basso costo ed accoppiabili con circuiti di elaborazione atti a formare microsistemi di diagnostica biochimica e biomedicale sono oggetto di intensa attività di ricerca e sviluppo, ed alcune prime realizzazioni stanno trovando il loro spazio in nicchie di mercato in rapida crescita. Questo lavoro intende illustrare i principi di funzionamento di questi sensori, con enfasi sugli ISFET (Ion Sensitive Field Effect Transistors) dato il loro interesse scientifico ed aplicativo, evidenziando le potenzialità e le attuali limitazioni in termini di prestazioni ed affidabilità operativa. Alcuni esempi di microsistemi biochimici recentemente sviluppati dagli autori nell`ambito di progetti europei vengono riportati come esemplificativi di applicazioni della sensoristica bio-chimica integrata in silicio nel monitoraggio ambientale che, con la biomedica, rappresenta il principale settore in cui questa tipololgia di microsensori potrebbe commercialmente affermarsi.
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