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Shallow Indium implants and Indium-Carbon co-implants have been subjected to flash anneals and a combination of furnace treatments in order to evaluate the electrical properties of the implant and differentiate the behavior between low temperature and high temperature ultra fast thermal treatments. It is found that by using “flash” anneals, higher levels of electrical activation are achievable for the given experimental conditions. This behavior is related to the indium dose and to the dopant diffusion within the layer and its interaction with the carbon.
The Effect Of Flash Annealing On The Electrical Properties Of Indium/Carbon Co-Implants in Silicon
Shallow Indium implants and Indium-Carbon co-implants have been subjected to flash anneals and a combination of furnace treatments in order to evaluate the electrical properties of the implant and differentiate the behavior between low temperature and high temperature ultra fast thermal treatments. It is found that by using “flash” anneals, higher levels of electrical activation are achievable for the given experimental conditions. This behavior is related to the indium dose and to the dopant diffusion within the layer and its interaction with the carbon.
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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://hdl.handle.net/11582/12948
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simulazione ASN
Il report seguente simula gli indicatori relativi alla propria produzione scientifica in relazione alle soglie ASN 2021-2023 del proprio SC/SSD. Si ricorda che il superamento dei valori soglia (almeno 2 su 3) è requisito necessario ma non sufficiente al conseguimento dell'abilitazione. La simulazione si basa sui dati IRIS e sugli indicatori bibliometrici alla data indicata e non tiene conto di eventuali periodi di congedo obbligatorio, che in sede di domanda ASN danno diritto a incrementi percentuali dei valori. La simulazione può differire dall'esito di un’eventuale domanda ASN sia per errori di catalogazione e/o dati mancanti in IRIS, sia per la variabilità dei dati bibliometrici nel tempo. Si consideri che Anvur calcola i valori degli indicatori all'ultima data utile per la presentazione delle domande.
La presente simulazione è stata realizzata sulla base delle specifiche raccolte sul tavolo ER del Focus Group IRIS coordinato dall’Università di Modena e Reggio Emilia e delle regole riportate nel DM 589/2018 e allegata Tabella A. Cineca, l’Università di Modena e Reggio Emilia e il Focus Group IRIS non si assumono alcuna responsabilità in merito all’uso che il diretto interessato o terzi faranno della simulazione. Si specifica inoltre che la simulazione contiene calcoli effettuati con dati e algoritmi di pubblico dominio e deve quindi essere considerata come un mero ausilio al calcolo svolgibile manualmente o con strumenti equivalenti.
