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STUDY OF AN ELECTRO-MECHANIC MECHANISM EXPLOITING IN-PLANE ROTATION FOR THE REALIZATION OF TUNEABLE CAPACITORS
2010-01-01 P. T., Savadkoohi; Margesin, Benno; Vasilache, Dan Adrian; Giacomozzi, Flavio
Symmetric Toggle Switch - A New type of RF MEMS Switch for Telecommunication Applications
2004-01-01 Rangra, Kamaljit; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Lorenzelli, Leandro; Collini, Cristian; Soncini, Giovanni
Tapered walls via holes manufactured using DRIE variable isotropy process
2011-01-01 Vasilache, Dan Adrian; Resta, Giuseppe; Ronchin, Sabina; Colpo, Sabrina; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Gennaro, Salvatore
Technological and design improvements for RF MEMS shunt switsches
2007-01-01 Giacomozzi, Flavio; Carlos, Calaza; Colpo, Sabrina; Mulloni, Viviana; Collini, Amos; Margesin, Benno; Paola, Farinelli; F., Casini; R., Marcelli; Mannocchi, Giovanni; Larissa, Vietzorreck
Technology and Microwave Performances of Micromechanical Shunt Switches
2003-01-01 R., Marcelli; G., Minucci; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio
Theoretical and Experimental Analysis of Residual Stress Mitigation in Piezoresistive Silicon Nitride Cantilever
2017-01-01 Kandpal, Manoj; Adami, A.; Giacomozzi, F.; Zen, M.; Rao, V. Ramgopal; Lorenzelli, L.
Thick-film gas-sensing microarray with VLSI-compatible micromachined hotplates
2000-01-01 D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni
Thin film technology in the development of IRST-CCD/CMOS VLSI fabrication process
1993-01-01 Bellutti, Pierluigi; Boscardin, Maurizio; Giacomozzi, Flavio; Pedrotti, Severino; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
Thin Membrane Supported Millimeter Wave Micromachined Filters
2000-01-01 A., Muller; G., Constantinidis; Giacomozzi, Flavio; M., Lagdas; G., Deligeorgis; S., Iordanescu; Petrini, Ioana Elena; R., Marcelli; G., Bartolucci; D., Neculoiu; P., Blondy; D., Dascalu
Tin Diffusion Barrier and Ti cap for Double Metal I.C. Interconnects
1995-01-01 Giacomozzi, Flavio; Pedrotti, Severino; Moscon, Franco
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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STUDY OF AN ELECTRO-MECHANIC MECHANISM EXPLOITING IN-PLANE ROTATION FOR THE REALIZATION OF TUNEABLE CAPACITORS | 1-gen-2010 | P. T., Savadkoohi; Margesin, Benno; Vasilache, Dan Adrian; Giacomozzi, Flavio | |
Symmetric Toggle Switch - A New type of RF MEMS Switch for Telecommunication Applications | 1-gen-2004 | Rangra, Kamaljit; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Lorenzelli, Leandro; Collini, Cristian; Soncini, Giovanni | |
Tapered walls via holes manufactured using DRIE variable isotropy process | 1-gen-2011 | Vasilache, Dan Adrian; Resta, Giuseppe; Ronchin, Sabina; Colpo, Sabrina; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Gennaro, Salvatore | |
Technological and design improvements for RF MEMS shunt switsches | 1-gen-2007 | Giacomozzi, Flavio; Carlos, Calaza; Colpo, Sabrina; Mulloni, Viviana; Collini, Amos; Margesin, Benno; Paola, Farinelli; F., Casini; R., Marcelli; Mannocchi, Giovanni; Larissa, Vietzorreck | |
Technology and Microwave Performances of Micromechanical Shunt Switches | 1-gen-2003 | R., Marcelli; G., Minucci; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio | |
Theoretical and Experimental Analysis of Residual Stress Mitigation in Piezoresistive Silicon Nitride Cantilever | 1-gen-2017 | Kandpal, Manoj; Adami, A.; Giacomozzi, F.; Zen, M.; Rao, V. Ramgopal; Lorenzelli, L. | |
Thick-film gas-sensing microarray with VLSI-compatible micromachined hotplates | 1-gen-2000 | D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni | |
Thin film technology in the development of IRST-CCD/CMOS VLSI fabrication process | 1-gen-1993 | Bellutti, Pierluigi; Boscardin, Maurizio; Giacomozzi, Flavio; Pedrotti, Severino; Zen, Mario; Soncini, Giovanni | |
Thin Membrane Supported Millimeter Wave Micromachined Filters | 1-gen-2000 | A., Muller; G., Constantinidis; Giacomozzi, Flavio; M., Lagdas; G., Deligeorgis; S., Iordanescu; Petrini, Ioana Elena; R., Marcelli; G., Bartolucci; D., Neculoiu; P., Blondy; D., Dascalu | |
Tin Diffusion Barrier and Ti cap for Double Metal I.C. Interconnects | 1-gen-1995 | Giacomozzi, Flavio; Pedrotti, Severino; Moscon, Franco |
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Data di pubblicazione
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- 2010 - 2019 45
- 2000 - 2009 91
- 1990 - 1999 17
- 1986 - 1989 1
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- ieeexplore.ieee.org 5
- EuMA 3
- World Scientific 3
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- EDA Publishing 1
- FBK - Publishing Services 1
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- MEMS 8
- RF-MEMS 6
- RF-MEMS switch 5
- DRIE 4
- variable isotropy process 3
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