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<100> bar corner compensation for CMOS compatible anisotropic TMAH etching
2006-01-01 R., Mukhiya; Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Zen, Mario; S., Kal
A bolometric measurement of the antineutrino mass
2003-01-01 C., Arnaboldi; C., Brofferio; O., Cremonesi; E., Fiorini; C., Lo Bianco; A., Nucciotti; M., Pavan; G., Pessina; S., Pirro; E., Previtali; M., Sisti; L., Martensson; A., Giuliani; Margesin, Benno; Zen, Mario
A CAD System for Developing Chemical Sensor-Based Microsystems with an ISFET-CMOS Compatible Technology
1999-01-01 S., Martinoia; Lorenzelli, Leandro; G., Massobrio; Margesin, Benno; Lui, Alberto
A Flexible Fabrication Process for RF MEMS Devices
2011-01-01 Giacomozzi, Flavio; Mulloni, Viviana; Colpo, Sabrina; Iannacci, Jacopo; Margesin, Benno; Faes, Alessandro
A Low Cost Micro-System for Non-Invasive Uroflowmetry
2006-01-01 N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio
A micromachined gold palladium Kelvin probe for hydrogen sensing
2009-01-01 D'Amico, ; C., Di Natale; E., Martinelli; Tibuzzi, Arianna; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Soncini, Giovanni; C., Calaza; Ficorella, Francesco; S., Iarossi
A simple analytical method for residual stress measurement on suspended MEM structures using surface profilometry
2013-01-01 Mulloni, Viviana; Colpo, Sabrina; Faes, Alessandro; Margesin, Benno
A single metal layer MEMS self-assembling coplanar structure
2007-01-01 Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Bellutti, Pierluigi
An accelerated thermal cycling test for RF-MEMS switches
2016-01-01 Mulloni, Viviana; Sordo, Guido; Margesin, Benno
An atomic force microscope estimation of the point of zero charge of silicon insulator
1998-01-01 R., Raiteri; Margesin, Benno; M., Grattarola
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
---|---|---|---|
<100> bar corner compensation for CMOS compatible anisotropic TMAH etching | 1-gen-2006 | R., Mukhiya; Bagolini, Alvise; Margesin, Benno; Zen, Mario; S., Kal | |
A bolometric measurement of the antineutrino mass | 1-gen-2003 | C., Arnaboldi; C., Brofferio; O., Cremonesi; E., Fiorini; C., Lo Bianco; A., Nucciotti; M., Pavan; G., Pessina; S., Pirro; E., Previtali; M., Sisti; L., Martensson; A., Giuliani; Margesin, Benno; Zen, Mario | |
A CAD System for Developing Chemical Sensor-Based Microsystems with an ISFET-CMOS Compatible Technology | 1-gen-1999 | S., Martinoia; Lorenzelli, Leandro; G., Massobrio; Margesin, Benno; Lui, Alberto | |
A Flexible Fabrication Process for RF MEMS Devices | 1-gen-2011 | Giacomozzi, Flavio; Mulloni, Viviana; Colpo, Sabrina; Iannacci, Jacopo; Margesin, Benno; Faes, Alessandro | |
A Low Cost Micro-System for Non-Invasive Uroflowmetry | 1-gen-2006 | N., Viarani; Massari, Nicola; Gottardi, Massimo; Simoni, Andrea; Margesin, Benno; Faes, Alessandro; Decarli, Massimiliano; Guarnieri, Vittorio | |
A micromachined gold palladium Kelvin probe for hydrogen sensing | 1-gen-2009 | D'Amico, ; C., Di Natale; E., Martinelli; Tibuzzi, Arianna; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Soncini, Giovanni; C., Calaza; Ficorella, Francesco; S., Iarossi | |
A simple analytical method for residual stress measurement on suspended MEM structures using surface profilometry | 1-gen-2013 | Mulloni, Viviana; Colpo, Sabrina; Faes, Alessandro; Margesin, Benno | |
A single metal layer MEMS self-assembling coplanar structure | 1-gen-2007 | Bagolini, Alvise; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Bellutti, Pierluigi | |
An accelerated thermal cycling test for RF-MEMS switches | 1-gen-2016 | Mulloni, Viviana; Sordo, Guido; Margesin, Benno | |
An atomic force microscope estimation of the point of zero charge of silicon insulator | 1-gen-1998 | R., Raiteri; Margesin, Benno; M., Grattarola |
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