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NOTA: è possibile cercare una corrispondenza esatta usando i doppi apici, ad es: "evoluzione della specie". Qualora si cerchi un identificativo, è consigliabile cercarlo in due modi differenti: tra apici con caratteri speciali es: "978-94-6366-274" oppure senza caratteri speciali solo come sequenza numerica: es 978946366274.

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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Wet release technology for bulk-silicon resonators fabrication on silicon-on-insulator substrate 1-gen-2013 Mulloni, Viviana; Faes, Alessandro; Margesin, Benno
X-ray diffraction study of P-doped polycrystalline Si thin films used in ULSI devices 1-gen-1992 Diego, Bisero; Dapor, Maurizio; Margesin, Benno
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Tipologia
  • 1 Contributo su Rivista 112
  • 1 Contributo su Rivista::1.1 Arti... 112
Autore
  • Giacomozzi, Flavio 37
  • Zen, Mario 25
  • Mulloni, Viviana 23
  • Falferi, Paolo 15
  • Faes, Alessandro 13
  • Vinante, Andrea 11
  • Colpo, Sabrina 10
  • Mantegazzini, Federica 10
  • Soncini, Giovanni 10
  • Cian, Alessandro 9
Data di pubblicazione
  • 2020 - 2024 15
  • 2010 - 2019 44
  • 2000 - 2009 39
  • 1990 - 1999 13
  • 1987 - 1989 1
Editore
  • Elsevier 15
  • Romanian Academy 3
  • Associazione Elettrotecnica ed El... 2
  • American Institute of Physics 1
  • AVS 1
  • IEEE 1
  • IOP Publishing 1
  • Materials Research Society 1
  • MYU K.K. 1
  • North-Holland 1
Rivista
  • MICROSYSTEM TECHNOLOGIES 10
  • IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPE... 7
  • SENSORS AND ACTUATORS. B, CHEMICAL 7
  • JOURNAL OF LOW TEMPERATURE PHYSICS 6
  • NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN ... 6
  • ROMANIAN JOURNAL OF INFORMATION S... 6
  • INTERNATIONAL JOURNAL OF MICROWAV... 4
  • JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MIC... 4
  • SENSORS AND ACTUATORS. A, PHYSICAL 4
  • BIOSENSORS & BIOELECTRONICS 3
Keyword
  • RF MEMS 6
  • Capacitive switch 4
  • MEMS 4
  • Physics - Instrumentation and Det... 3
  • RF-switch 3
  • Electrodeposited gold 2
  • Electrostatic interaction 2
  • gold 2
  • hydrogen 2
  • micromachining 2
Lingua
  • eng 106
  • ita 1
Accesso al fulltext
  • no fulltext 108
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  • open 1
  • reserved 1