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Microphysical Characterization and Residual Stress Analysis of Thin Polymide Membranes on GaAs Substrate, Supporto for Micromachined Structures
2000-01-01 Petrini, Ioana Elena; A., Muller; S., Iordanescu; D., Vasilache; G., Constantinidis; Giacomozzi, Flavio; C., Anton
Microstructures etched in doped TMAH solutions
1999-01-01 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; Giorgio Umberto, Pignatel; Zen, Mario
Microstructures etched in doped TMAH solutions
2000-01-01 S., Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; G., Pignatel; Zen, Mario
Microsystem Fabrication for Microphysiological Applications
2001-01-01 Lorenzelli, Leandro; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario
Microwave and Millimeter Wave MEMS
2010-01-01 Giacomozzi, Flavio; Alexandru, Muller; Dan, Dascalu; Robert, Plana
Microwave MEMS Switches in Series Configuration: Technology and Circuital Modeling
2004-01-01 R., Marcelli; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; G., Bartolucci; G., Minucci
Microwave microsystems: Technology and modeling of RF MEMS switches and related applications
2011-01-01 Marcelli, Romolo; Bartolucci, Giancarlo; Proietti, Emanuela; Angelis, Giorgio De; Lucibello, Andrea; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
Modeling and characterization of a circular-shaped energy scavenger in MEMS surface micromachining technology
2011-01-01 Solazzi, Francesco; Iannacci, Jacopo; Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; A., Tazzoli; G., Meneghesso
Modeling of a Condenser Microphone with Structured Polysilicon Diaphragm
2004-01-01 Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario
Modelling, Design and Fabrication of Interdigitated Electrode Sensors for Biomedical Applications
2002-01-01 Lorenzelli, Leandro; Ferrario, Lorenza; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio
| Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
|---|---|---|---|
| Microphysical Characterization and Residual Stress Analysis of Thin Polymide Membranes on GaAs Substrate, Supporto for Micromachined Structures | 1-gen-2000 | Petrini, Ioana Elena; A., Muller; S., Iordanescu; D., Vasilache; G., Constantinidis; Giacomozzi, Flavio; C., Anton | |
| Microstructures etched in doped TMAH solutions | 1-gen-1999 | Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; Giorgio Umberto, Pignatel; Zen, Mario | |
| Microstructures etched in doped TMAH solutions | 1-gen-2000 | S., Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; G., Pignatel; Zen, Mario | |
| Microsystem Fabrication for Microphysiological Applications | 1-gen-2001 | Lorenzelli, Leandro; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario | |
| Microwave and Millimeter Wave MEMS | 1-gen-2010 | Giacomozzi, Flavio; Alexandru, Muller; Dan, Dascalu; Robert, Plana | |
| Microwave MEMS Switches in Series Configuration: Technology and Circuital Modeling | 1-gen-2004 | R., Marcelli; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; G., Bartolucci; G., Minucci | |
| Microwave microsystems: Technology and modeling of RF MEMS switches and related applications | 1-gen-2011 | Marcelli, Romolo; Bartolucci, Giancarlo; Proietti, Emanuela; Angelis, Giorgio De; Lucibello, Andrea; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno | |
| Modeling and characterization of a circular-shaped energy scavenger in MEMS surface micromachining technology | 1-gen-2011 | Solazzi, Francesco; Iannacci, Jacopo; Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; A., Tazzoli; G., Meneghesso | |
| Modeling of a Condenser Microphone with Structured Polysilicon Diaphragm | 1-gen-2004 | Faes, Alessandro; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario | |
| Modelling, Design and Fabrication of Interdigitated Electrode Sensors for Biomedical Applications | 1-gen-2002 | Lorenzelli, Leandro; Ferrario, Lorenza; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio |
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