RicercaInizia una nuova ricerca
NOTA: è possibile cercare una corrispondenza esatta usando i doppi apici, ad es: "evoluzione della specie". Qualora si cerchi un identificativo, è consigliabile cercarlo in due modi differenti: tra apici con caratteri speciali es: "978-94-6366-274" oppure senza caratteri speciali solo come sequenza numerica: es 978946366274.
Quantitative Evaluation of Iron at the Silicon Surface after Wet Cleaning Treatments
2004-01-01 D., Caputo; P., Bacciaglia; C., Carpanese; M. L., Polignano; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; P., Pianeta; L., Moro
Real-time observation and optimization of tungsten ALD process cycle
2006-01-01 W., Lei; L., Henn Lecordier; Anderle, Mariano; G. W., Rubloff; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo
Role of the Si/SiO2 interface during dopant diffusion in thin silicon on insulator layers
2006-01-01 G., Mannino; A., La Magna; V., Privitera; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo
Sample holder implement for very small samples on SC-Ultra SIMS instrument
2004-01-01 Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; M., Sbetti; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
Shallow BF2 implants in Xe-bombardment-preamorphized Si: the interaction between Xe and F
2005-01-01 M., Werner; J., van den Berg; D. G., Armour; G., Carter; T., Feudel; M., Herden; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; L., Ottaviano; C., Bongiorno; P., Bailey; T. C. Q., Noakes
Short-term and long-term RSF repeatability for CAMECA SC-Ultra SIMS measurements
2004-01-01 Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
State of Art in the SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) Application to Archaeometry Studies
2006-01-01 Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; S., Pederzoli
Strong Diffusion Suppression of Low Energy-Implanted Phosphorous in Germanium by N2 Co-Implantation
2015-01-01 C., Thomidis; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; V., Ioannou Sougleridis; N. Z., Vouroutzis; B., Colombeau; D., Skarlatos
Structural analyses of thermal annealed SRO/SiO2 superlattices
2010-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Pucker, Georg; S., Milita; Barozzi, Mario; Ghulinyan, Mher; Bersani, Massimo
Structural Analysis and Depth Profiling of Nanometric SiO2/SRO Multilayers
2013-01-01 Barozzi, Mario; Gennaro, Salvatore; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Jestin, Yoann; Pucker, Georg; S., Milita; R., Balboni
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
---|---|---|---|
Quantitative Evaluation of Iron at the Silicon Surface after Wet Cleaning Treatments | 1-gen-2004 | D., Caputo; P., Bacciaglia; C., Carpanese; M. L., Polignano; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; P., Pianeta; L., Moro | |
Real-time observation and optimization of tungsten ALD process cycle | 1-gen-2006 | W., Lei; L., Henn Lecordier; Anderle, Mariano; G. W., Rubloff; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo | |
Role of the Si/SiO2 interface during dopant diffusion in thin silicon on insulator layers | 1-gen-2006 | G., Mannino; A., La Magna; V., Privitera; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo | |
Sample holder implement for very small samples on SC-Ultra SIMS instrument | 1-gen-2004 | Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; M., Sbetti; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo | |
Shallow BF2 implants in Xe-bombardment-preamorphized Si: the interaction between Xe and F | 1-gen-2005 | M., Werner; J., van den Berg; D. G., Armour; G., Carter; T., Feudel; M., Herden; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; L., Ottaviano; C., Bongiorno; P., Bailey; T. C. Q., Noakes | |
Short-term and long-term RSF repeatability for CAMECA SC-Ultra SIMS measurements | 1-gen-2004 | Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo | |
State of Art in the SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) Application to Archaeometry Studies | 1-gen-2006 | Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; S., Pederzoli | |
Strong Diffusion Suppression of Low Energy-Implanted Phosphorous in Germanium by N2 Co-Implantation | 1-gen-2015 | C., Thomidis; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; V., Ioannou Sougleridis; N. Z., Vouroutzis; B., Colombeau; D., Skarlatos | |
Structural analyses of thermal annealed SRO/SiO2 superlattices | 1-gen-2010 | Vanzetti, Lia Emanuela; Pucker, Georg; S., Milita; Barozzi, Mario; Ghulinyan, Mher; Bersani, Massimo | |
Structural Analysis and Depth Profiling of Nanometric SiO2/SRO Multilayers | 1-gen-2013 | Barozzi, Mario; Gennaro, Salvatore; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Jestin, Yoann; Pucker, Georg; S., Milita; R., Balboni |
Legenda icone
- file ad accesso aperto
- file disponibili sulla rete interna
- file disponibili agli utenti autorizzati
- file disponibili solo agli amministratori
- file sotto embargo
- nessun file disponibile
Opzioni
Scopri
Tipologia
- 1 Contributo su Rivista 113
- 1 Contributo su Rivista::1.1 Arti... 113
Data di pubblicazione
- 2020 - 2022 2
- 2010 - 2019 30
- 2000 - 2009 76
- 1997 - 1999 5
Editore
- Elsevier 17
- American Institute of Physics 14
- AVS 3
- Wiley 3
- EDP Sciences 1
- IOP Publishing 1
- Scientific.net 1
- Springer 1
Rivista
- APPLIED SURFACE SCIENCE 15
- JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 11
- JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHN... 10
- APPLIED PHYSICS LETTERS 9
- SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 7
- NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN ... 5
- MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING... 4
- PHYSICA STATUS SOLIDI. C 4
- SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 4
- DIFFUSION AND DEFECT DATA, SOLID ... 2
Keyword
- SIMS 26
- silicon 25
- diffusion 18
- annealing 16
- ion implantation 16
- boron 10
- arsenic 9
- elemental semiconductors 9
- semiconductor doping 9
- doping profiles 8
Lingua
- eng 97
- ita 1
Accesso al fulltext
- no fulltext 106
- reserved 5
- open 1
- restricted 1