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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Quantitative Evaluation of Iron at the Silicon Surface after Wet Cleaning Treatments 1-gen-2004 D., Caputo; P., Bacciaglia; C., Carpanese; M. L., Polignano; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; P., Pianeta; L., Moro
Real-time observation and optimization of tungsten ALD process cycle 1-gen-2006 W., Lei; L., Henn Lecordier; Anderle, Mariano; G. W., Rubloff; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo
Role of the Si/SiO2 interface during dopant diffusion in thin silicon on insulator layers 1-gen-2006 G., Mannino; A., La Magna; V., Privitera; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo
Sample holder implement for very small samples on SC-Ultra SIMS instrument 1-gen-2004 Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; M., Sbetti; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
Shallow BF2 implants in Xe-bombardment-preamorphized Si: the interaction between Xe and F 1-gen-2005 M., Werner; J., van den Berg; D. G., Armour; G., Carter; T., Feudel; M., Herden; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; L., Ottaviano; C., Bongiorno; P., Bailey; T. C. Q., Noakes
Short-term and long-term RSF repeatability for CAMECA SC-Ultra SIMS measurements 1-gen-2004 Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
State of Art in the SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) Application to Archaeometry Studies 1-gen-2006 Anderle, Mariano; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; S., Pederzoli
Strong Diffusion Suppression of Low Energy-Implanted Phosphorous in Germanium by N2 Co-Implantation 1-gen-2015 C., Thomidis; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; V., Ioannou Sougleridis; N. Z., Vouroutzis; B., Colombeau; D., Skarlatos
Structural analyses of thermal annealed SRO/SiO2 superlattices 1-gen-2010 Vanzetti, Lia Emanuela; Pucker, Georg; S., Milita; Barozzi, Mario; Ghulinyan, Mher; Bersani, Massimo
Structural Analysis and Depth Profiling of Nanometric SiO2/SRO Multilayers 1-gen-2013 Barozzi, Mario; Gennaro, Salvatore; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Jestin, Yoann; Pucker, Georg; S., Milita; R., Balboni
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Tipologia
  • 1 Contributo su Rivista 113
  • 1 Contributo su Rivista::1.1 Arti... 113
Autore
  • Giubertoni, Damiano 59
  • Barozzi, Mario 34
  • Vanzetti, Lia Emanuela 29
  • Anderle, Mariano 19
  • Gennaro, Salvatore 19
  • Iacob, Erica 19
  • Pepponi, Giancarlo 13
  • Lazzeri, Paolo 10
  • Demenev, Evgeny 9
  • Meirer, Florian 7
Data di pubblicazione
  • 2020 - 2022 2
  • 2010 - 2019 30
  • 2000 - 2009 76
  • 1997 - 1999 5
Editore
  • Elsevier 17
  • American Institute of Physics 14
  • AVS 3
  • Wiley 3
  • EDP Sciences 1
  • IOP Publishing 1
  • Scientific.net 1
  • Springer 1
Rivista
  • APPLIED SURFACE SCIENCE 15
  • JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 11
  • JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHN... 10
  • APPLIED PHYSICS LETTERS 9
  • SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 7
  • NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN ... 5
  • MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING... 4
  • PHYSICA STATUS SOLIDI. C 4
  • SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 4
  • DIFFUSION AND DEFECT DATA, SOLID ... 2
Keyword
  • SIMS 26
  • silicon 25
  • diffusion 18
  • annealing 16
  • ion implantation 16
  • boron 10
  • arsenic 9
  • elemental semiconductors 9
  • semiconductor doping 9
  • doping profiles 8
Lingua
  • eng 97
  • ita 1
Accesso al fulltext
  • no fulltext 106
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