An overview of the Ion Sensitive Field Effect Transistor (ISFET) basic principles and fabrication technology, mainly with reference to devices currently under development at IRST Microelectronics Division is presented.

Ion sensitive field effect transistors: basic principles and fabrication technology

Soncini, Giovanni;Lui, Alberto;Margesin, Benno;Zanini, Vittorio;Zen, Mario
1995

Abstract

An overview of the Ion Sensitive Field Effect Transistor (ISFET) basic principles and fabrication technology, mainly with reference to devices currently under development at IRST Microelectronics Division is presented.
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