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Amorphous carbon films PACVD in CH4-CO2 under pulsed and continuous substrate bias conditions

Gottardi, Gloria;Bensaada Laidani, Nadhira;Bartali, Ruben;Filippi, Massimiliano;Calliari, Lucia;Anderle, Mariano
2004-01-01
2004
4.3 Poster
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