Stress and interfacial defects induced by amorphous carbon film growth on silicon / C. Macchi; S. Mariazzi; A. Zecca; G. P. Karwasz; R. S. Brusa; N. Laidani; R. Bartali; G. Gottardi; M. Anderle. - (2004). ((Intervento presentato al convegno Diamond 2004 tenutosi a Riva del Garda, TN, Italy nel September 2004.
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Titolo: | Stress and interfacial defects induced by amorphous carbon film growth on silicon |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2004 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11582/24149 |
Appare nelle tipologie: | 4.3 Poster |
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