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Un processo ISFET/CMOS compatibile con un modulo aggiuntivo per microelettrodi progettato per la costruzione di matrici di ISFET e matrici di ISFET/microelettrodi con elettronica di preelaborazione 1-gen-1999 Ferrario, Lorenza; Giacomozzi, Flavio; Lorenzelli, Leandro; Margesin, Benno; M., Mazzucco
Micromachined Coplanar Waveguides: Design, Realization and Test up to 40 GHz. 1-gen-1999 Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; R., Marcelli; G., Bartolucci; S., Ciorciolini
Microstructures etched in doped TMAH solutions 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; Giorgio Umberto, Pignatel; Zen, Mario
Optimization of TMAH etching for MEMS 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; G., Verzellesi; Zen, Mario
Characterization of TMAH Silicon Etchant Using Ammonium Persulfate as an Oxidizing Agent 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Guarnieri, Vittorio; M., Pranjape; Giacomozzi, Flavio; Zen, Mario
Development of silicon microheaters for chemoresistive gas sensors 1-gen-1999 Sebastiano, Brida; Ferrario, Lorenza; Giacomozzi, Flavio; D., Giusti; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Giorgio Umberto, Pignatel; Soncini, Giovanni; Alexey, Vasiliev; G., Verzellesi; Zen, Mario
Dielectric Membranes Supported Millimeter-Wave Passive Circuits 1-gen-1999 A., Muller; S., Iordanescu; Petrini, Ioana Elena; V., Avramescu; D., Dascalu; G., Konstantinidis; R., Marcelli; K., Hjort; D., Pasquariello; G., Bartolucci; Giacomozzi, Flavio; B., Szentpali
Micromachined dielectric membranes for microwave applications 1-gen-1999 Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; A., Muller; Zen, Mario; F., Riesz
Silicon based microbridges for gas sensing applications 1-gen-1999 D., Vincenzi; M. A., Butturri; G., Martinelli; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; M. A., Carotta; Soncini, Giovanni
Low power Silicon microheaters on a thin dielectric membrane with Thick Film Sensing Layer for gas sensor applications 1-gen-2000 Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; Alexey, Vasiliev; Alexandr Viktorovich, Pisliakov; Soncini, Giovanni; Giorgio Umberto, Pignatel; D., Vincenzi; G., Martinelli; M. C., Carotta; M. A., Butturi
Resistive pressure sensing structures on polymide membranes on GaAs substrate 1-gen-2000 Ioana Elena, Petrini; A., Muller; V., Avramescu; G., Simion; N., Nitescu; D., Vasilache; D., Dascalu; G., Konstantinidis; Giacomozzi, Flavio
Microphysical Characterization and Residual Stress Analysis of Thin Polymide Membranes on GaAs Substrate, Supporto for Micromachined Structures 1-gen-2000 Petrini, Ioana Elena; A., Muller; S., Iordanescu; D., Vasilache; G., Constantinidis; Giacomozzi, Flavio; C., Anton
Thin Membrane Supported Millimeter Wave Micromachined Filters 1-gen-2000 A., Muller; G., Constantinidis; Giacomozzi, Flavio; M., Lagdas; G., Deligeorgis; S., Iordanescu; Petrini, Ioana Elena; R., Marcelli; G., Bartolucci; D., Neculoiu; P., Blondy; D., Dascalu
Thick-film gas-sensing microarray with VLSI-compatible micromachined hotplates 1-gen-2000 D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni
Structural changes of Ti/TiN/Cr/Au multilayers after high temperature annealing 1-gen-2000 D., Vincenzi; M. A., Butturi; M., Stefancich; V., Guidi; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Boscarino; Mea G., Della
Design of Coplanar Micromachined Microwave Circuits 1-gen-2000 R., Marcelli; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; S., Iordanescu; A., Muller; Petrini, Ioana Elena; V., Avramescu; G., Bartolucci; S., Ciorciolini
The application of Makyoh (magic-mirror) topography for the study of deformations in dielectric membrane structures 1-gen-2000 F., Riesz; Ducso, C. s.; R., Konakova; A., Belyaev; E. A., Soloviev; N. S., Boltovets; A., Muller; Giacomozzi, Flavio; I., Eordogh; B., Szentpali
Electrical Study of Insulator Films for Microwave Applications 1-gen-2000 Horvàth, Z. s. J.; Ducso, C. s.; M., Adàm; Van Tuyen, V. o.; B., Szentpàli; Giacomozzi, Flavio; D., Pasquariello; K., Hjort
Microstructures etched in doped TMAH solutions 1-gen-2000 S., Brida; Faes, Alessandro; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; M., Paranjape; G., Pignatel; Zen, Mario
Micromachined Dielectric Membranes for Microwave Applications 1-gen-2000 Giacomozzi, Flavio; Guarnieri, Vittorio; Margesin, Benno; A., Muller; Zen, Mario; F., Riesz
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