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Al-Sn thin film deposited by pulsed laser ablation 1-gen-2002 A., Perrone; A., Zocco; H., de Rosa; R., Zimmermann; Bersani, Massimo
Dependence of the transient enhancement diffusion of B in Si on B concentration and ion implanted dose 1-gen-2002 S., Solmi; G., Mannino; M., Servidori; Bersani, Massimo; L., Mancini; S., Milita; V., Privitera; Anderle, Mariano
Sample topography developed by sputtering in Cameca instruments 1-gen-2002 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Alberto, Lui; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
XPS and SIMS Depth Profiling of Chlorine in High-Temperature Oxynitrides 1-gen-2002 Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo; M., Sbetti; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; R., Zonca; B., Crivelli; C., Carpanese; F., Zanderigo
Arsenic shallow implant characterization by magnetic sector and time of flight SIMS instruments 1-gen-2002 Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Marchi E., Boscolo; Anderle, Mariano
Sample topography developed by sputtering in a Cameca instruments: an AFM and SEM study 1-gen-2002 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Lui, Alberto; Vanzetti, Lia Emanuela; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano
Arsenic Shallow Implant Characterization by Magnetic Sector and TOF-SIMS Instruments 1-gen-2002 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
Shallow junction: stato dell'arte ed esigenze analitiche 1-gen-2002 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; E., Boscolo; Bersani, Massimo; M., Anderle
X-ray Photoelectron Spectroscopy of Nitrided Silicon-Silicon Oxide Interface 1-gen-2002 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano
Nitrided Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical And Physico-Chemical Characterization By Complementary Surface Analysis Techniques 1-gen-2002 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Nitride Silicon-Silicon Dioxide Interface: Electrical and Phisico-Chemical Characterization by Complementary Surface Techniques 1-gen-2002 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Quantitative Evaluation of iron at the silicon surface after wet cleaning treatments 1-gen-2002 D., Caputo; P., Bacciaglia; C., Carpanese; M. L., Polignano; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; P., Pianetta; L., Moro
Fabrication by rf-sputtering processing of Er3+ / Yb3+ codoped silica-titania planar waveguides 1-gen-2002 Chiasera, Alessandro; M., Montagna; C., Tosello; R. R., Gonsalves; M., Brenci; Pelli, Stefano; G. C., Righini; Bersani, Massimo; Lazzeri, Paolo; Casa P., Della
ToF-SIMS and XPS charcterisation of urban aerosols for pollution studies 1-gen-2003 Lazzeri, Paolo; G., Franco; M., Garozzo; C., Gerardi; Iacob, Erica; Faro A., Lo; A., Privitera; Vanzetti, Lia Emanuela; Bersani, Massimo
Ultra Shallow Depth Profiling by Secondary Ion Mass Spectrometry Techniques 1-gen-2003 Anderle, Mariano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Lazzeri, Paolo
Hydrogen as a probe of the electronic properties of (InGa)(AsN)/GaAs heterostructures 1-gen-2003 A. Bissiri M., Polimeni; Höger von Högersthal G., Baldassarri; M., Capizzi; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; D., Gollub; M., Fischer; A., Forchel
Diffusion and electrical activation of indium in silicon 1-gen-2003 Silvia, Scalese; M., Italia; Antonio La, Magna; G., Mannino; V., Privitera; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Solmi; P., Pichler
In situ sputtering rate measurement by laser interferometer applied to SIMS analyses 1-gen-2003 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; S., Bertoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Anderle, Mariano
Transient enhanced diffusion of arsenic in silicon 1-gen-2003 S., Solmi; M., Ferri; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; V., Soncini
Ultra shallow junctions: Analytical solutions for 90 nm technology node" 1-gen-2003 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Bersani, Massimo; P., Lazzeri; M., Anderle
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