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EnglishA broadband 0º/180º phase switch based on a slotline-coplanar-waveguide cross loaded with two MEMS switches in opposed (ON/OFF or OFF/ON) states, is reported. The fabrication was made on high-resistivity silicon substrates using the FBK-irst and LAAS-CNRS surface micromachining processes, showing a high repeatability. The measured phase shift is 180º +0º/-7º in the extremely wide frequency range 1–30 GHz.
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| Titolo: | A highly-repeatable, broadband 180º phase switch for integrated MEMS |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2011 |
| Abstract: | A broadband 0º/180º phase switch based on a slotline-coplanar-waveguide cross loaded with two MEMS switches in opposed (ON/OFF or OFF/ON) states, is reported. The fabrication was made on high-resistivity silicon substrates using the FBK-irst and LAAS-CNRS surface micromachining processes, showing a high repeatability. The measured phase shift is 180º +0º/-7º in the extremely wide frequency range 1–30 GHz. |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11582/40194 |
| Appare nelle tipologie: | 4.1 Contributo in Atti di convegno |
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http://hdl.handle.net/11582/40194
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