IRIS Institutional Research Information System

Overview of doctoral theses on Atomic Layer Deposition collected in the Virtual Project on the History of ALD

Jaan Aarik1;Jussi Aav2;Esko Ahvenniemi2;Andrew R Akbashev3;Saima Ali2;Mikhael Bechelany4;Maria Berdova2;Ivan Bodalyov5;Stefan Boyadjiev6;David Cameron7;Nikolai Chekurov8;Rong Chen9;Mikhail Chubarov10;Véronique Cremers11;Anjana Devi12;Victor E. Drozd5;Liliya Elnikova13;Gloria Gottardi

;Aristeidis Goulas15;Kestutis Grigoras16;Dennis Hausmann17;Cheol Seong Hwang18;Shih-Hui Jen19;Marcel Junige20;Tanja Kallio2;Jaana Kanervo2;Ivan Khmelnitskiy21;Do Han Kim22;Lev Klibanov23;Yury Koshtyal24;Outi Krause2;Jakob Kuhs11;Irina Kärkkänen25;Marja-Leena Kääriäinen26;Tommi O. Kääriäinen26;Luca Lamagna27;Adam Łapicki28;Markku Leskelä29;Harri Lipsanen2;Anatolii Malkov5;Anatoly Malygin5;Felix Mattelaer11;Abdelkader Mennad30;Christian Militzer31;Jyrki Molarius16;Małgorzata Norek32;Cagla OzgitAkgun33;Mikhail Panov21;Hendrik Pedersen34;Luis Fabián Peña35;Fabien Piallat36;Georgi Popov29;Riikka L. Puurunen2;Alexander Pyymäki Perros2;Geert Rampelberg11;Robin H. A. Ras2;Erwan Rauwel37;Fred Roozeboom38;39;Timo Sajavaara40;Hossein Salami41;Hele Savin2;Nathanaelle Schneider42;Thomas E. Seidel43;Pia Sundberg2;Jonas Sundqvist44;Dmitry Suyatin45;Massimo Tallarida46;Tobias Törndahl47;Mikko Utriainen16;J. Ruud van Ommen15;Thomas Waechtler31;48;Timo Weckman2;Claudia Wiemer49;Jihong Yim2;Oili M. E. Ylivaara16;Oksana Yurkevich50

2019-01-01