IRIS Institutional Research Information System

On the early history of atomic layer deposition: most significant works and applications

Jaan, Aarik;Esko, Ahvenniemi;Andrew, R. Akbashev;Mikhael, l. Bechelany;Maria, Berdova;Mikhail, Chubarov;Viktor, Drozd;Simon, Elliott;Gottardi, Gloria;Kestutis, Grigoras;Cheol Seong, Hwang;Marcel, Junige;Tanja, Kallio;Jaana, Kanervo;Ivan, Khmelnitskiy;Yury, Koshtyal;Outi, Krause;Marja Leena, Kääriäinen;Tommi, Kääriäinen;Luca, Lamagna;Harri, Lipsanen;Jussi, Lyytinen;Anatoly, Malkov;Anatoly, Malygin;Jyrki, Molarius;Malgorzata, [Gosia] Norek;Cagla, Ozgit Akgun;Mikhail, Panov;Henrik, Pedersen;Fabien, Piallat;Georgi, Popov;Riikka, L. Puurunen;Alexander, Pyymaki Perros;Robin, H. A. Ras;Fred, Roozeboom;Timo, Sajavaara;Hele, Savin;Pia, Sundberg;Jonas, Sundqvist;Dmitry, Suyatin;Massimo, Tallarida;Tobias, Törndahl;Mikko, Utriainen;Ruud van Ommen, J.;Thomas, Wächtler;Claudia, Wiemer;Oili, M. E. Ylivaara;Oksana, Yurkevich

2016-01-01