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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Thick-film gas-sensing microarray with VLSI-compatible micromachined hotplates 1-gen-2000 D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni
TOPOLOGY OPTIMIZATION OF REINFORCED POLYSILICON 1-gen-2008 Carlos, Calaza; Colpo, Sabrina; Mulloni, Viviana; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
U-shaped MEMS tunable microwave resonators 1-gen-2022 Giacomozzi, F.; Proietti, E.; Capoccia, G.; Sardi, G.; Bartolucci, G.; Iannacci, J.; Margesin, B.; Marcelli, R.
Una procedura per la stima degli effetti dell`incertezza di processo sulle prestazioni di dispositivi RF-MEMS 1-gen-2009 Iannacci, Jacopo; D., Macii; Margesin, Benno; Repchankova, Alena; Solazzi, Francesco
V-shape through wafer via manufactured by drie variable isotropy process 1-gen-2010 Vasilache, Dan Adrian; Colpo, Sabrina; Ronchin, Sabina; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
Variable isotropy Deep RIE process for through wafer via holes manufacturing 1-gen-2011 Vasilache, Dan Adrian; Colpo, Sabrina; Giacomozzi, Flavio; Ronchin, Sabina; Qureshi, Abdul Qader Ahsan; Margesin, Benno
Vertically structured thin membranes by a lost mold technique 1-gen-2001 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Lui, Alberto; Margesin, Benno; Zen, Mario
Wafer resistivity influence over DRIE processes for TSVs manufacturing 1-gen-2012 Vasilache, Dan Adrian; Chistè, Matteo; Colpo, Sabrina; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
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Tipologia
  • 4 Contributo in Atti di Convegno ... 208
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  • 4 Contributo in Atti di Convegno ... 2
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Autore
  • Giacomozzi, Flavio 115
  • Zen, Mario 48
  • Mulloni, Viviana 32
  • Faes, Alessandro 31
  • Guarnieri, Vittorio 31
  • Soncini, Giovanni 28
  • Iannacci, Jacopo 25
  • Colpo, Sabrina 24
  • Lorenzelli, Leandro 18
  • Bagolini, Alvise 16
Data di pubblicazione
  • 2020 - 2023 5
  • 2010 - 2019 53
  • 2000 - 2009 123
  • 1990 - 1999 26
  • 1986 - 1989 1
Editore
  • IEEE 10
  • ieeexplore.ieee.org 5
  • World Scientific 4
  • World Scientific Publishing 3
  • EuMA 2
  • FBK - Publishing Services 2
  • FBK- Publishing services 2
  • SPIE 2
  • AEIT 1
  • AMA Service GmbH 1
Rivista
  • IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPE... 1
  • PROCEEDINGS OF SPIE, THE INTERNAT... 1
Serie
  • EAS PUBLICATIONS SERIES 1
Keyword
  • RF MEMS 19
  • RF-MEMS 10
  • MEMS 8
  • RF-MEMS switch 6
  • DRIE 4
  • Capacitive switch 3
  • MEMS reliability 3
  • Mixed-domain simulation 3
  • packaging 3
  • Switch 3
Lingua
  • eng 183
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