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PECVD of a-C:H films in CH4-CO2 plasma
2006-01-01 Gottardi, Gloria; Bensaada Laidani, Nadhira; Bartali, Ruben; Calliari, Lucia; Filippi, Massimiliano; Micheli, Victor; Anderle, Mariano
Secondary ion mass spectrometry analysis applications on semiconductor materials
2008-01-01 Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Gennaro, Salvatore; Barozzi, Mario; Canteri, Roberto; Vanzetti, Lia Emanuela; Pepponi, Giancarlo; Anderle, Mariano
Study Of Nano-Structured Photonics Materials by XPS
2006-01-01 Speranza, Giorgio; Minati, Luca; Ferrari, Maurizio; Chiasera, Alessandro; G., Righini; Anderle, Mariano
Surface investigation of archeological glasses by secondary ion mass spectrometry
2005-01-01 S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G., Giunta; E., di Paola
Tof-Sims and XPS Characterization of urban aerosols for pollution studies
2001-01-01 Lazzeri, Paolo; G., Clauser; Lui, Alberto; Iacob, Erica; G., Tonidandel; Anderle, Mariano
Ultra low energy Boron ion implants in silicon analyzed by not-oxydizing O2+ bombardment and synchrotron radiation grazing incidence x-ray fluorescence
2009-01-01 Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Pepponi, Giancarlo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Hoenicke; B., Beckhoff
Ultra shallow junction analysis for technology nodes beyond 65nm
2005-01-01 Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
Ultra thin oxynitride profiles by XPS etch-back analyses
2004-01-01 Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
---|---|---|---|
PECVD of a-C:H films in CH4-CO2 plasma | 1-gen-2006 | Gottardi, Gloria; Bensaada Laidani, Nadhira; Bartali, Ruben; Calliari, Lucia; Filippi, Massimiliano; Micheli, Victor; Anderle, Mariano | |
Secondary ion mass spectrometry analysis applications on semiconductor materials | 1-gen-2008 | Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Gennaro, Salvatore; Barozzi, Mario; Canteri, Roberto; Vanzetti, Lia Emanuela; Pepponi, Giancarlo; Anderle, Mariano | |
Study Of Nano-Structured Photonics Materials by XPS | 1-gen-2006 | Speranza, Giorgio; Minati, Luca; Ferrari, Maurizio; Chiasera, Alessandro; G., Righini; Anderle, Mariano | |
Surface investigation of archeological glasses by secondary ion mass spectrometry | 1-gen-2005 | S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Lazzeri, Paolo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; G., Giunta; E., di Paola | |
Tof-Sims and XPS Characterization of urban aerosols for pollution studies | 1-gen-2001 | Lazzeri, Paolo; G., Clauser; Lui, Alberto; Iacob, Erica; G., Tonidandel; Anderle, Mariano | |
Ultra low energy Boron ion implants in silicon analyzed by not-oxydizing O2+ bombardment and synchrotron radiation grazing incidence x-ray fluorescence | 1-gen-2009 | Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Pepponi, Giancarlo; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Hoenicke; B., Beckhoff | |
Ultra shallow junction analysis for technology nodes beyond 65nm | 1-gen-2005 | Giubertoni, Damiano; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; S., Pederzoli; Vanzetti, Lia Emanuela; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo | |
Ultra thin oxynitride profiles by XPS etch-back analyses | 1-gen-2004 | Vanzetti, Lia Emanuela; Iacob, Erica; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; P., Bacciaglia; B., Crivelli; M. L., Polignano; M. E., Vitali |
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Tipologia
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Data di pubblicazione
- 2000 - 2010 24
- 1998 - 1999 4
Keyword
- ion implantation 2
- silicon 2
- SIMS 2
- arsenic 1
- BIOSUPERFICI 1
- boron 1
- characterization 1
- MEIS 1
- solid phase epitaxial regrowth 1
- synchrotron radiation GIXRF 1
Lingua
- eng 27
- ita 1
Accesso al fulltext
- no fulltext 28