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Ultrathin Multilayer Dielectrics Analyses by XPS wet-etching and SIMS profile
2001-01-01 Iacob, Erica; M., Sbetti; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; B., Crivelli; R., Zonca; F., Zanderigo; M. E., Vitali
Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia
2011-01-01 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano
Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia
2010-01-01 Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
---|---|---|---|
Ultrathin Multilayer Dielectrics Analyses by XPS wet-etching and SIMS profile | 1-gen-2001 | Iacob, Erica; M., Sbetti; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; B., Crivelli; R., Zonca; F., Zanderigo; M. E., Vitali | |
Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia | 1-gen-2011 | Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Vanzetti, Lia Emanuela; Barozzi, Mario; Giubertoni, Damiano | |
Visita ispettiva annuale di sorveglianza Accredia | 1-gen-2010 | Iacob, Erica; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Vanzetti, Lia Emanuela |
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Tipologia
- 5 Altro 23
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Data di pubblicazione
- 2010 - 2013 4
- 2000 - 2009 19
Keyword
- SIMS 5
- boron 3
- ion implantation 3
- silicon 3
- ultra shallow junctions 3
- Arsenic 1
- asbestos 1
- ferritic steel 1
- GIXRF 1
- ISO/IEC 17025 1
Lingua
- eng 19
- ita 3
Accesso al fulltext
- no fulltext 23