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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Tapered walls via holes manufactured using DRIE variable isotropy process 1-gen-2011 Vasilache, Dan Adrian; Resta, Giuseppe; Ronchin, Sabina; Colpo, Sabrina; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio; Gennaro, Salvatore
Technological and design improvements for RF MEMS shunt switsches 1-gen-2007 Giacomozzi, Flavio; Carlos, Calaza; Colpo, Sabrina; Mulloni, Viviana; Collini, Amos; Margesin, Benno; Paola, Farinelli; F., Casini; R., Marcelli; Mannocchi, Giovanni; Larissa, Vietzorreck
Technology and Microwave Performances of Micromechanical Shunt Switches 1-gen-2003 R., Marcelli; G., Minucci; Margesin, Benno; Giacomozzi, Flavio
Theoretical and Experimental Analysis of Residual Stress Mitigation in Piezoresistive Silicon Nitride Cantilever 1-gen-2017 Kandpal, Manoj; Adami, A.; Giacomozzi, F.; Zen, M.; Rao, V. Ramgopal; Lorenzelli, L.
Thick-film gas-sensing microarray with VLSI-compatible micromachined hotplates 1-gen-2000 D., Vincenzi; M. A., Butturi; V., Guidi; M. C., Carotta; G., Martinelli; Guarnieri, Vittorio; Sebastiano, Brida; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno; Zen, Mario; D., Giusti; Soncini, Giovanni
Thin film technology in the development of IRST-CCD/CMOS VLSI fabrication process 1-gen-1993 Bellutti, Pierluigi; Boscardin, Maurizio; Giacomozzi, Flavio; Pedrotti, Severino; Zen, Mario; Soncini, Giovanni
Thin Membrane Supported Millimeter Wave Micromachined Filters 1-gen-2000 A., Muller; G., Constantinidis; Giacomozzi, Flavio; M., Lagdas; G., Deligeorgis; S., Iordanescu; Petrini, Ioana Elena; R., Marcelli; G., Bartolucci; D., Neculoiu; P., Blondy; D., Dascalu
Tin Diffusion Barrier and Ti cap for Double Metal I.C. Interconnects 1-gen-1995 Giacomozzi, Flavio; Pedrotti, Severino; Moscon, Franco
TOPOLOGY OPTIMIZATION OF REINFORCED POLYSILICON 1-gen-2008 Carlos, Calaza; Colpo, Sabrina; Mulloni, Viviana; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
U-shaped MEMS tunable microwave resonators 1-gen-2022 Giacomozzi, F.; Proietti, E.; Capoccia, G.; Sardi, G.; Bartolucci, G.; Iannacci, J.; Margesin, B.; Marcelli, R.
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Tipologia
  • 4 Contributo in Atti di Convegno ... 156
  • 4 Contributo in Atti di Convegno ... 156
Autore
  • Margesin, Benno 115
  • Colpo, Sabrina 30
  • Zen, Mario 29
  • Guarnieri, Vittorio 25
  • Mulloni, Viviana 19
  • Iannacci, Jacopo 16
  • Lorenzelli, Leandro 16
  • Faes, Alessandro 15
  • Soncini, Giovanni 15
  • Vasilache, Dan Adrian 9
Data di pubblicazione
  • 2020 - 2024 4
  • 2010 - 2019 43
  • 2000 - 2009 91
  • 1990 - 1999 17
  • 1986 - 1989 1
Editore
  • IEEE 6
  • ieeexplore.ieee.org 5
  • EuMA 3
  • World Scientific 3
  • EDA Publishing Association 2
  • National Institute for Research a... 2
  • World Scientific Publishing 2
  • EDA Publishing 1
  • FBK - Publishing Services 1
  • FBK- Publishing services 1
Serie
  • LECTURE NOTES IN ELECTRICAL ENGIN... 1
Keyword
  • RF MEMS 12
  • MEMS 8
  • RF-MEMS 6
  • RF-MEMS switch 5
  • DRIE 4
  • variable isotropy process 3
  • electromagnetic simulation 2
  • MEMS reliability 2
  • micromachining 2
  • multimodal circuit 2
Lingua
  • eng 134
  • spa 4
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Accesso al fulltext
  • no fulltext 143
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