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V-shape through wafer via manufactured by drie variable isotropy process
2010-01-01 Vasilache, Dan Adrian; Colpo, Sabrina; Ronchin, Sabina; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
Variable isotropy Deep RIE process for through wafer via holes manufacturing
2011-01-01 Vasilache, Dan Adrian; Colpo, Sabrina; Giacomozzi, Flavio; Ronchin, Sabina; Qureshi, Abdul Qader Ahsan; Margesin, Benno
Vertically structured thin membranes by a lost mold technique
2001-01-01 Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Lui, Alberto; Margesin, Benno; Zen, Mario
Wafer resistivity influence over DRIE processes for TSVs manufacturing
2012-01-01 Vasilache, Dan Adrian; Chistè, Matteo; Colpo, Sabrina; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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V-shape through wafer via manufactured by drie variable isotropy process | 1-gen-2010 | Vasilache, Dan Adrian; Colpo, Sabrina; Ronchin, Sabina; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno | |
Variable isotropy Deep RIE process for through wafer via holes manufacturing | 1-gen-2011 | Vasilache, Dan Adrian; Colpo, Sabrina; Giacomozzi, Flavio; Ronchin, Sabina; Qureshi, Abdul Qader Ahsan; Margesin, Benno | |
Vertically structured thin membranes by a lost mold technique | 1-gen-2001 | Sebastiano, Brida; Faes, Alessandro; Ferrario, Lorenza; Guarnieri, Vittorio; Giacomozzi, Flavio; Lui, Alberto; Margesin, Benno; Zen, Mario | |
Wafer resistivity influence over DRIE processes for TSVs manufacturing | 1-gen-2012 | Vasilache, Dan Adrian; Chistè, Matteo; Colpo, Sabrina; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno |
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Tipologia
- 4 Contributo in Atti di Convegno ... 204
- 4 Contributo in Atti di Convegno ... 204
Data di pubblicazione
- 2020 - 2023 2
- 2010 - 2019 53
- 2000 - 2009 122
- 1990 - 1999 26
- 1986 - 1989 1
Editore
- IEEE 10
- ieeexplore.ieee.org 5
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- FBK - Publishing Services 2
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Rivista
- IEEE TRANSACTIONS ON APPLIED SUPE... 1
- PROCEEDINGS OF SPIE, THE INTERNAT... 1
Serie
- EAS PUBLICATIONS SERIES 1
Keyword
- RF MEMS 19
- RF-MEMS 10
- MEMS 8
- RF-MEMS switch 6
- DRIE 4
- Capacitive switch 3
- MEMS reliability 3
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