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Titolo Data di pubblicazione Autore(i) File
Optimization of secondary ion mass spectrometry ultra-shallow boron profiles using an oblique incidence O2+ beam 1-gen-2004 Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Anderle, Mariano; Bersani, Massimo
P implantation into preamorphized germanium and subsequent annealing: Solid phase epitaxial regrowth, P diffusion, and activation 1-gen-2008 Mathias, Posselt; B., Schmidt; W., Anwand; R., Grötzschel; V., Heera; A., Mücklich; C., Wündisch; W., Skorupa; H., Hortenbach; Gennaro, Salvatore; Bersani, Massimo; Giubertoni, Damiano; A., Möller; H., Bracht
Point defect engineering study of phosphorus ion implanted germanium 1-gen-2014 M. A., Razali; Secchi, Maria; Bersani, Massimo; R. M., Gwilliam
Pollen discrimination and classification by Fourier transform infrared (FT-IR) microspectroscopy and machine learning 1-gen-2009 Dell'Anna, Rossana; Paolo, Lazzeri; Mattia, Frisanco; Francesca, Monti; Flaminia Malvezzi, Campeggi; Elena, Gottardini; Bersani, Massimo
Polyethylene wax/EPDM blends as shape-stabilized phase change materials for thermal energy storage 1-gen-2017 Dorigato, Alessandro; Ciampolillo, Maria Vittoria; Cataldi, A.; Bersani, M.; Pegoretti, A.
Preface for Proceedings of SIMS XVIII, Riva del Garda, Italy, 2011 1-gen-2013 E., Napolitani; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Anderle, Mariano; A., Licciardello
Production and characterization of novel EPDM/NBR panels with paraffin for potential thermal energy storage applications 1-gen-2022 Valentini, Francesco; Dorigato, Andrea; Fambri, Luca; Bersani, Massimo; Grigiante, Maurizio; Pegoretti, Alessandro
Quality management system and accreditation of measurements in a surface science laboratory: the case study of MiNALab 1-gen-2014 Iacob, Erica; Vanzetti, Lia Emanuela; Gennaro, S.; Pecoraro, F.; Giubertoni, Damiano; Barozzi, Mario; Bortolotti, M.; Pepponi, Giancarlo; Fedrizzi, Michele; Bersani, Massimo
Quantitative depth profiling of boron and arsenic ultra low energy implants by pulsed rf-GD-ToFMS 1-gen-2011 Lara, Lobo; Beatriz, Fernandez; Rosario, Pereiro; Nerea, Bordel; Demenev, Evgeny; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Philipp, Hoenicke; Burkhard, Beckhoff; A., Sanz Medel
Quantitative determination of the dopant distribution in Si ultra shallow junctions by tilted sample annular dark field scanning transmission electron microscopy 1-gen-2008 A., Parisini; Vittorio, Morandi; Sandro, Solmi; Pier Giorgio, Merli; Giubertoni, Damiano; Bersani, Massimo; Jaap van den, Berg
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Tipologia
  • 1 Contributo su Rivista 113
  • 1 Contributo su Rivista::1.1 Arti... 113
Autore
  • Giubertoni, Damiano 59
  • Barozzi, Mario 34
  • Vanzetti, Lia Emanuela 29
  • Anderle, Mariano 19
  • Gennaro, Salvatore 19
  • Iacob, Erica 19
  • Pepponi, Giancarlo 13
  • Lazzeri, Paolo 10
  • Demenev, Evgeny 9
  • Meirer, Florian 7
Data di pubblicazione
  • 2020 - 2022 2
  • 2010 - 2019 30
  • 2000 - 2009 76
  • 1997 - 1999 5
Editore
  • Elsevier 17
  • American Institute of Physics 14
  • AVS 3
  • Wiley 3
  • EDP Sciences 1
  • IOP Publishing 1
  • Scientific.net 1
  • Springer 1
Rivista
  • APPLIED SURFACE SCIENCE 15
  • JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 11
  • JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHN... 10
  • APPLIED PHYSICS LETTERS 9
  • SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 7
  • NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN ... 5
  • MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING... 4
  • PHYSICA STATUS SOLIDI. C 4
  • SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS 4
  • DIFFUSION AND DEFECT DATA, SOLID ... 2
Keyword
  • SIMS 26
  • silicon 25
  • diffusion 18
  • annealing 16
  • ion implantation 16
  • boron 10
  • arsenic 9
  • elemental semiconductors 9
  • semiconductor doping 9
  • doping profiles 8
Lingua
  • eng 97
  • ita 1
Accesso al fulltext
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