Metodo per la memorizzazione e utilizzo di informazioni di ausilio alla definizione di flussi di processo, in particolare per lo sviluppo e la produzione di dispositivi microelettronicie nano-micro-meccanici in camera pulita

Un metodo e relativo dispositivo per la memorizzazione e utilizzo di informazioni di ausilio alla definizione di flussi di processo, in particolare per lo sviluppo e la produzione di dispositivi microelettronicie nano-micro-meccanici in camera pulita A method and relative device for the management of technological recipe information to aid in defining process flows, in particular for the development and production of micro- and nanotechnologicy devices in cleanroom laboratories

Ferrario, Lorenza
2007

Abstract

Metodo per la memorizzazione e utilizzo di informazioni di ausilio alla definizione di flussi di processo, in particolare per lo sviluppo e la produzione di dispositivi microelettronicie nano-micro-meccanici in camera pulita
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