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EnglishMetodo per la memorizzazione e utilizzo di informazioni di ausilio alla definizione di flussi di processo, in particolare per lo sviluppo e la produzione di dispositivi microelettronicie nano-micro-meccanici in camera pulita
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| Titolo: | Un metodo e relativo dispositivo per la memorizzazione e utilizzo di informazioni di ausilio alla definizione di flussi di processo, in particolare per lo sviluppo e la produzione di dispositivi microelettronicie nano-micro-meccanici in camera pulita A method and relative device for the management of technological recipe information to aid in defining process flows, in particular for the development and production of micro- and nanotechnologicy devices in cleanroom laboratories |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2007 |
| Abstract: | Metodo per la memorizzazione e utilizzo di informazioni di ausilio alla definizione di flussi di processo, in particolare per lo sviluppo e la produzione di dispositivi microelettronicie nano-micro-meccanici in camera pulita |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11582/25232 |
| Appare nelle tipologie: | 6.1 Brevetto |
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http://hdl.handle.net/11582/25232
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