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EnglishIon-induced effects on a-C:H film growth in a PACVD process with a CH4-CO2 mixture: a mechanical and structural study / G. Gottardi; N. Laidani; M. Anderle. - (2004). ((Intervento presentato al convegno IVC-16/ICSS-12/NANO-8/AIV-17 tenutosi a Venice, Italy nel June 2004.
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| Titolo: | Ion-induced effects on a-C:H film growth in a PACVD process with a CH4-CO2 mixture: a mechanical and structural study |
| Autori: | |
| Data di pubblicazione: | 2004 |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11582/24109 |
| Appare nelle tipologie: | 4.3 Poster |
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http://hdl.handle.net/11582/24109
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